申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2022-06-13

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115079075A

主分类号：G01R35/00

分类号：G01R35/00;G01R31/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本公开提供了一种用于检验WAT测试机台的测试结构及方法，该测试结构包括多个测试焊盘和至少一个标准电性结构，该至少一个标准电性结构与该多个测试焊盘对应电连接，标准电性结构具有标准电性能参数，标准电性结构的测量电性能参数通过WAT测试机台的测试部件进行测试得到，标准电性结构的测量电性能参数与标准电性能参数的偏差大小用于表征WAT测试机台的测试部件是否异常，通过获取测试结构中的标准电性结构的测量电性能参数，然后根据测量电性能参数和标准电性能参数的偏差确定WAT测试机台的测试部件是否异常，实现了在测试晶圆前以及测试过程中对机台进行检测，避免测试产能的浪费以及测试成本增加，降低测试问题的发生率。

主权项：1.一种用于检验WAT测试机台的测试结构，其特征在于，包括：多个测试焊盘；至少一个标准电性结构，与所述多个测试焊盘对应电连接，所述标准电性结构具有标准电性能参数，所述标准电性结构的测量电性能参数通过所述WAT测试机台的测试部件进行测试得到，所述标准电性结构的所述测量电性能参数与所述标准电性能参数的偏差大小用于表征所述WAT测试机台的所述测试部件是否异常。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 用于检验WAT测试机台的测试结构及方法、测试系统

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