申请/专利权人：上海精测半导体技术有限公司

申请日：2022-06-14

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115077398A

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06;G01B11/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明提供了一种光学测量方法，所述光学测量方法包括：获取待测样品的测量光谱；对所述测量光谱进行光滑滤波处理，以得到高频光谱；基于所述待测样品的光学性能参数对所述测量光谱中的变量真空波长建立变量替换函数关系，以获取替换变量；基于所述替换变量，对所述高频光谱进行约化处理，以得到目标高频信号；对所述目标高频信号进行傅里叶变换，以得到傅里叶空间光谱；对所述傅里叶空间光谱进行寻峰，其中最大峰所对应的参数值即为所述待测样品的待测参数的测量结果。本发明直接通过确定所述傅里叶空间光谱最大峰所对应的参数值，并根据所述参数值得到所述待测样品的待测参数，提高了对待测样品的光学参数的准确度。

主权项：1.一种光学测量方法，其特征在于，包括：S1、获取待测样品的测量光谱Sλ，λ为入射光的真空波长，且所述λ为变量；S2、对所述测量光谱Sλ进行光滑滤波处理，以得到所述测量光谱Sλ中的高频光谱S3、基于所述待测样品的光学性能参数对所述测量光谱Sλ中的所述真空波长λ建立变量替换函数关系，以获取替换变量x；S4、基于所述替换变量x，对所述高频光谱进行约化处理，以得到与所述待测样品的待测参数呈现单一周期性振荡的目标高频信号S5、对所述目标高频信号进行傅里叶变换，以得到傅里叶空间光谱；S6、对所述傅里叶空间光谱进行寻峰，其中最大峰所对应的参数值即为所述待测样品的待测参数的测量结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海精测半导体技术有限公司 光学测量方法

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