申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司
申请日:2022-06-28
公开(公告)日:2022-09-20
公开(公告)号:CN115074830A
主分类号:C30B29/06
分类号:C30B29/06;C30B15/12
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.02.03#实质审查的生效;2022.09.20#公开
摘要:本发明具体涉及直拉单晶硅技术领域,具体涉及一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的方法及坩埚结构。所要解决的技术问题是在拉直多根单晶硅棒时,石英坩埚容易变形的问题。采用的技术方案为:一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的坩埚结构,包括,设置在内侧用于装盛熔硅的石英坩埚和设置在外侧用于支撑所述石英坩埚的第一坩埚,其特征在于,所述石英坩埚外侧和和第一坩埚的内侧之间留有间隙,第一间隙内填充有高纯石英砂,所述高纯石英砂用于阻隔高温下石英坩埚与外侧的第一坩埚发生反应,本发明通过在石英坩埚和第一坩埚之间的第一间隙内填充高纯石英砂,将石英坩埚和第一坩埚之间原本的直接接触变为间接接触,可以达到保护石英坩埚外层的目的。
主权项:1.一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的坩埚结构,包括,设置在内侧用于装盛熔硅的石英坩埚(10)和设置在外侧用于支撑所述石英坩埚(10)的第一坩埚(20),其特征在于,所述石英坩埚(10)外侧和和第一坩埚(20)的内侧之间留有间隙,第一间隙(30)内填充有高纯石英砂(40),所述高纯石英砂(40)用于阻隔高温下石英坩埚(10)与外侧的第一坩埚(20)发生反应。
全文数据:
权利要求:
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