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【发明公布】一种水凝胶修饰硅纳米线场效应pH传感器的方法_有研工程技术研究院有限公司;有研(广东)新材料技术研究院_202210745987.4 

申请/专利权人:有研工程技术研究院有限公司;有研(广东)新材料技术研究院

申请日:2022-06-28

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN115078509A

主分类号:G01N27/416

分类号:G01N27/416

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的撤回

法律状态:2023.07.28#发明专利申请公布后的撤回;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要:本发明公开了一种水凝胶修饰硅纳米线场效应pH传感器的方法,水凝胶采用自由基聚合的方法合成,硅纳米线场效应传感器采用与CMOS工艺兼容方法制备,在硅纳米线表面修饰水凝胶,水凝胶在pH检测时发生溶胀,溶剂化离子进入水凝胶的聚合物网络后,表层的溶剂分子遭到破坏与剥离,缩短了离子与电极表面的距离,从而克服德拜屏蔽效应,提高灵敏度。本发明的pH传感器能够对不同pH溶液进行快速、准确和高灵敏度的检测,该pH传感器具有微型化、可集成、制作成本低等优点。

主权项:1.一种水凝胶修饰硅纳米线场效应pH传感器的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:1将丙烯酰胺单体溶液、3-巯丙基-三甲基硅烷的乙醇溶液、冰乙酸溶液混合后加入3-甲基丙烯酸三甲氧基硅基丙酯,再采用超声波清洗机超声混合均匀,得到混合均匀后的溶液;2向混合均匀后的溶液中加入2-羟基-4′-2-羟乙氧基-2-甲基苯丙酮乙醇溶液,再采用超声波清洗机混合均匀,得到混合透明溶液;3将混合透明溶液用紫外灯照射后滴入透析袋,静置,得到聚合物单体溶液;4使用氧等离子体清洗硅纳米线场效应pH传感器的表面至硅纳米线场效应pH传感器的表面产生末端羟基,得到清洗后的硅纳米线场效应pH传感器;5将聚合物单体溶液涂覆在清洗后的硅纳米线场效应pH传感器的表面,采用匀胶机进行匀胶,得到旋涂水凝胶后的硅纳米线场效应pH传感器;6将旋涂水凝胶后的硅纳米线场效应pH传感器放置在具有饱和湿度的容器中,并在烘箱中存放,得到水凝胶修饰的硅纳米线场效应pH传感器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 有研工程技术研究院有限公司;有研(广东)新材料技术研究院 一种水凝胶修饰硅纳米线场效应pH传感器的方法

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