申请/专利权人：北京派和科技股份有限公司

申请日：2022-07-05

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115083968A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H02N2/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明涉及一种半导体领域中的刺晶设备，特别是涉及一种双驱动刺晶机构。本发明的目的是提供一种结构简单、体积小、施工工艺更简单的双驱动刺晶机构，包括第一驱动组件、第一连杆、第二驱动组件、第二连杆，所述第一驱动组件的输出端与所述第一连杆的第一端相连接，所述第二驱动组件的输出端与所述第二连杆的第一端相连接，所述第一连杆的第二端与所述第二连杆的第二端相连接，所述第一连杆与所述第二连杆的连接点为第三连接点，所述第二驱动组件的输出端适于带动所述第二连杆以所述第三连接点为支点转动，所述第一驱动组件的输出端适于带动所述第一连杆以所述第三连接点为支点转动。

主权项：1.一种双驱动刺晶机构，其特征在于，包括第一驱动组件1、第一连杆3、第二驱动组件2、第二连杆4，所述第一驱动组件1、所述第一连杆3、所述第二驱动组件2、所述第二连杆4均位于同一平面内，所述第一驱动组件1的输出端与所述第一连杆3的第一端相连接，所述第二驱动组件2的输出端与所述第二连杆4的第一端相连接，所述第一连杆3的第二端与所述第二连杆4的第二端相连接，所述第一连杆3与所述第二连杆4的连接点为第三连接点，所述第二驱动组件2的输出端适于带动所述第二连杆4以所述第三连接点为支点转动，所述第一驱动组件1的输出端适于带动所述第一连杆3以所述第三连接点为支点转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京派和科技股份有限公司 双驱动刺晶机构

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