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【发明公布】一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备_曲靖阳光新能源股份有限公司_202210798117.3 

申请/专利权人:曲靖阳光新能源股份有限公司

申请日:2022-07-06

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN115074817A

主分类号:C30B15/00

分类号:C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20;C30B15/02;C30B15/12

优先权:

专利状态码:失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态:2023.10.27#发明专利申请公布后的驳回;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要:本发明提供了一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备,包括设备外壳,设备外壳的上侧周向均布设有若干观察窗,若干观察窗与若干监测设备一一对应设置,设备外壳的内部工作腔中设有热场一和热场二,热场一包括保温层一,保温层一中设有坩埚一,热场二包括保温层二,保温层二设置在坩埚二的侧壁,将硅料送入热场二的坩埚二中,对坩埚二中的硅料进行加热熔化,形成硅液,然后进入热场一的坩埚一中,硅液相较于硅料在进入坩埚一的过程中冲击较小,避免了坩埚一直接添加固体硅料导致的溅液问题,解决了在连续直拉法生产工艺中,在添加新的硅料时,不可避免的会出现溅料,导致晶棒生长界面的温度波动较大,从而会影响单晶硅的品质的技术问题。

主权项:1.一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备,其特征在于:包括设备外壳1,设备外壳1的上侧周向均布设有若干观察窗12,若干观察窗12与若干监测设备2一一对应设置,监测设备2通过安装块一3与外壳1连接,设备外壳1的内部工作腔11中设有若干热场。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 曲靖阳光新能源股份有限公司 一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备

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