申请/专利权人:上海隐冠半导体技术有限公司
申请日:2022-07-14
公开(公告)日:2022-09-20
公开(公告)号:CN115077426A
主分类号:G01B11/26
分类号:G01B11/26
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.11.15#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开
摘要:本发明涉及半导体制造设备技术领域,公开一种角位移测量装置及角位移测量方法。其中角位移测量装置用于检测运动台的转动的角位移,第一导轨模组包括第一导轨和第一滑块,第一导轨通过设于运动台外部的固定件固定于运动台上方,第一导轨沿第一方向延伸,第一滑块滑动连接于第一导轨,第一滑块能够沿第一方向运动;第一连接块连接于第一滑块上;第二导轨模组包括第二滑块和第二导轨,第二导轨模组安装于第一连接块上,第二导轨沿第二方向延伸,第一方向与第二方向相互垂直,第二滑块能够沿第二导轨运动;第二连接块一侧连接于第二滑块,另一侧可转动连接于运动台;位移检测组件用于检测第一连接块沿第一方向的位移量。
主权项:1.一种角位移测量装置,用于检测运动台(10)的转动的角位移,其特征在于,包括:第一导轨模组(1),包括第一导轨(11)和第一滑块(12),所述第一导轨(11)通过设于所述运动台(10)外部的固定件固定于所述运动台(10)上方,且所述第一导轨(11)沿第一方向延伸,所述第一滑块(12)滑动连接于所述第一导轨(11),所述第一滑块(12)能够沿所述第一方向运动;第一连接块(2),连接于所述第一滑块(12)上;第二导轨模组(3),所述第二导轨模组(3)安装于所述第一连接块(2)上,包括第二滑块(31)和第二导轨(32),所述第二导轨(32)沿第二方向延伸,所述第一方向与所述第二方向相互垂直,所述第二滑块(31)能够沿所述第二导轨(32)运动;第二连接块(4),其一侧连接于所述第二滑块(31),另一侧可转动连接于所述运动台(10);位移检测组件(5),用于检测所述第一连接块(2)沿所述第一方向的位移量。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海隐冠半导体技术有限公司 一种角位移测量装置及角位移测量方法
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