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【发明公布】拉晶炉_西安奕斯伟材料科技有限公司_202210825183.5 

申请/专利权人:西安奕斯伟材料科技有限公司

申请日:2022-07-13

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN115074829A

主分类号:C30B27/02

分类号:C30B27/02;C30B29/06

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.01.26#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要:本发明公开了一种拉晶炉,包括:炉体,炉体具有腔室,炉体设有与腔室连通的拉晶口;支撑座,支撑座设置于腔室中;坩埚,坩埚设置于支撑座上;导流筒,导流筒设置于坩埚与拉晶口之间;过滤装置,过滤装置设置于导流筒的内侧壁上,过滤装置上与拉晶口对应的位置设有拉晶通道,过滤装置上设置有多个气流通道。过滤装置可以阻隔生成的氧化硅气体向上漂浮,惰性气体由上方向下流动,经过过滤装置后可以过滤掉存在固体杂质颗粒,同时过滤装置的气流通道可以改变惰性气体紊流,使通过的气流有序掠过熔体表面,及时带走氧化硅气体,通过过滤装置可以有效阻止热冲击的产生,减少惰性气体的紊流。

主权项:1.一种拉晶炉,其特征在于,包括:炉体,所述炉体具有腔室,所述炉体设有与所述腔室连通的拉晶口;支撑座,所述支撑座设置于所述腔室中;坩埚,所述坩埚设置于所述支撑座上;导流筒,所述导流筒设置于所述坩埚与所述拉晶口之间;过滤装置,所述过滤装置设置于所述导流筒的内侧壁上,所述过滤装置上与所述拉晶口对应的位置设有拉晶通道,所述过滤装置上设置有多个气流通道。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安奕斯伟材料科技有限公司 拉晶炉

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