申请/专利权人：华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院(北京)有限公司

申请日：2022-07-19

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115070694A

主分类号：B25B27/14

分类号：B25B27/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.04#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本申请公开了一种安装装置及安装工具，用于将尾气收集圈安装于金属有机化学气相沉积系统的反应腔内，所述安装装置包括：杆体；托板，设于所述杆体上，并具有承托所述尾气收集圈的伸展状态和解除该承托效果的收缩状态；驱动组件，设于所述杆体上，用于驱使所述托板在伸展状态和收缩状态之间切换。本申请实施例的安装装置，其在尾气收集圈和反应腔的腔壁之间移动时，可以通过收缩托板来解决安装装置因托板尺寸过大而导致安装装置无法使用的问题，同时，由于托板可收缩的特点，可以保证托板具有足够的尺寸，避免因托板尺寸过小而导致的尾气收集圈容易脱落的风险。

主权项：1.一种安装装置，其特征在于，用于将尾气收集圈安装于金属有机化学气相沉积系统的反应腔内，包括：杆体；托板，设于所述杆体上，并具有承托所述尾气收集圈的伸展状态和解除该承托效果的收缩状态；驱动组件，设于所述杆体上，用于驱使所述托板在伸展状态和收缩状态之间切换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院(北京)有限公司 安装装置及安装工具

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD