申请/专利权人：山东睿芯半导体科技有限公司

申请日：2022-07-21

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115069684A

主分类号：B08B7/00

分类号：B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.10.28#授权;2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明涉及芯片加工相关领域，具体是涉及芯片自动除尘设备，包括连接有两组驱动机构的长条固定架、两组导向组件、若干组送料件、四组包括两个条形磁铁的磁吸机构、两组包括两个水平齿条的翻转机构和除尘机构，每组导向组件均包括设有第一下沉导向段的第一导向件和设有第二下沉导向段的第二导向件；每组送料件均包括外框、载具、第一滑轮和第二滑轮；载具两端均固连有齿轮；除尘机构顶部设有除尘软胶。本发明中设有带有下沉槽的水平滑槽，又设有上挡板、下挡板和两个下沉部，从而确保外框仅在指定位置顺畅的下降和抬升；本发明中设有若干组送料件，能够保证若干个芯片持续除尘并下料，效率较高，且除尘软胶在除尘的同时不会伤害芯片。

主权项：1.芯片自动除尘设备，其特征在于，包括：呈水平状态的长条固定架（1）；两组呈对称状态相向设置于长条固定架（1）长度方向两侧的导向组件（2），每组所述导向组件（2）均包括平行于长条固定架（1）的第一导向件和第二导向件；若干组沿长条固定架（1）长度方向间隔设置的送料件，每组送料件均包括与两组第一导向件滑动连接的外框和轴接设置于外框内的载具（3），外框两端中部均轴接有与对应第一导向件滑动连接的第一滑轮（4），外框两端的两侧均轴接有两个与对应第二导向件滑动连接的第二滑轮（5），第一导向件和每个第二导向件上分别设有用于迫使外框下沉并上升的第一下沉导向段和第二下沉导向段，芯片（8）设置于载具（3）上；四组两两对称的磁吸机构，每组磁吸机构均包括两个相向侧磁性相反且分别设置于载具（3）和外框上的条形磁铁（25）；两组位于第一下沉导向段两侧的翻转机构（9），每组所述翻转机构（9）均包括两个对称设置的水平齿条（38），所述载具（3）两端中部均固连有用于配合水平齿条（38）的齿轮（11）；除尘机构（12），设置于第一下沉导向段的正下方，除尘机构（12）顶部设有除尘软胶（13）；其中，长条固定架（1）上还弹性连接有两组呈对称状态的驱动机构（14）且外框对应端与驱动机构（14）相连。

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权利要求：

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