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【发明授权】研磨用组合物_福吉米株式会社_201880020117.2 

申请/专利权人:福吉米株式会社

申请日:2018-03-19

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN110431210B

主分类号:C09K3/14

分类号:C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304

优先权:["20170323 JP 2017-057610"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.09.20#授权;2019.12.03#实质审查的生效;2019.11.08#公开

摘要:本发明提供一种研磨用组合物,其能有效地提高研磨速率。根据本发明,提供一种用于对研磨对象材料进行研磨的研磨用组合物。该研磨用组合物包含水、氧化剂和研磨促进剂,且不含磨粒。作为研磨促进剂,包含选自由碱金属盐及碱土金属盐组成的组中的至少1种金属盐。

主权项:1.一种研磨用组合物,其用于研磨对象物的研磨,所述研磨用组合物包含水、氧化剂和研磨促进剂,且不含磨粒,所述研磨促进剂包含碱土金属盐,所述研磨对象物的构成材料具有1500Hv以上的维氏硬度,所述研磨用组合物中的所述金属盐的浓度C1[摩尔L]与所述氧化剂的浓度C2[摩尔L]之比C1C2为0.01以上且小于1的范围内,所述氧化剂包含复合金属氧化物,所述金属盐是通过强酸与强碱的中和而生成的正盐。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 福吉米株式会社 研磨用组合物

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