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【发明授权】增强计量目标信息内容_科磊股份有限公司_201880078008.6 

申请/专利权人:科磊股份有限公司

申请日:2018-09-24

公开(公告)日:2022-09-20

公开(公告)号:CN111433559B

主分类号:G01B11/27

分类号:G01B11/27;G01N21/47;G01N21/956;G03F7/20;H01L23/544

优先权:["20171212 US 62/597,900","20180914 US 16/132,157"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.09.20#授权;2020.12.04#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要:本发明提供减少噪声且增强测量准确度的计量目标设计、设计方法及测量方法。所揭示的目标包括与测量方向正交的额外周期性结构,给定目标结构沿所述测量方向具周期性。例如,除成像或散射测量目标中的沿每一测量方向的两个或更多个周期性结构之外,还可引入第三正交周期性结构,此提供正交方向上的额外信息,并且可用于减少噪声、增强准确度且启用机器学习算法的应用以进一步增强准确度。可关于正交周期性结构逐切片分析信号,所述正交周期性结构可以过程兼容方式集成于成像及散射测量目标两者中。

主权项:1.一种计量测量方法,其包括:测量计量目标,其中所述计量目标至少包括:第一层,其包括沿着测量方向的第一周期性结构,第二层,其包括沿着所述测量方向的第二周期性结构,及第三层,其包括沿着与所述测量方向正交的第二方向的第三周期性结构,其中所述第一层与所述第二层及所述第三层相重叠,其中所述第三层与所述第二层相重叠,其中所述第三层在所述第一层和所述第二层之间;及识别并且移除与所述第三周期性结构相关的信号分量以减少通过所述计量目标测量所导出的信号中的噪声。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 科磊股份有限公司 增强计量目标信息内容

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