申请/专利权人：南方科技大学

申请日：2020-06-29

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN112011784B

主分类号：C23C16/27

分类号：C23C16/27;C23C16/02;C23C16/517;B01J20/28;B01J20/20;B01D71/02;B01D69/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.20#授权;2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要：本发明公开了一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途。所述多孔金刚石薄膜包括微米尺度的有序图案化孔洞以及微米金刚石薄膜；所述孔洞的底面中空，所述微米金刚石薄膜连续分布在孔洞的底面边缘、侧壁以及非孔洞的位置。所述方法包括：1采用纳米压印方法在基底上获得有序图案化的孔洞，得到图案化的基底；2采用微波等离子体化学气相沉积方法，在基底上沉积生长微米金刚石薄膜，得到有序图案化多孔金刚石薄膜。本发明的金刚石薄膜在厚度方向上均匀致密、表面多孔结构空间尺寸可控可调，有效实现了金刚石超硬涂层表面的大面积图案化薄膜的制备和生长。

主权项：1.一种有序图案化多孔金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，所述多孔金刚石薄膜包括微米尺度的有序图案化的孔洞以及微米金刚石薄膜；所述孔洞三维方向的最大距离在微米尺度；所述孔洞的底面中空，所述微米金刚石薄膜连续分布在孔洞的底面边缘、侧壁以及非孔洞的位置；所述有序图案化多孔金刚石薄膜采用如下方法进行制备：1采用纳米压印方法在基底上获得有序图案化的孔洞，得到图案化的基底，将图案化的基底在含金刚石籽晶的有机溶液中进行超声处理；2采用微波等离子体化学气相沉积方法，在步骤1所得基底上沉积生长微米金刚石薄膜，得到有序图案化多孔金刚石薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南方科技大学 一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途

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