申请/专利权人：广东工业大学

申请日：2019-10-15

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN112689688B

主分类号：C23C14/06

分类号：C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.20#授权;2021.05.07#实质审查的生效;2021.04.20#公开

摘要：本发明公开一种钛合金和高温合金加工用的涂层刀具及其制备方法，所述涂层刀具的涂层为Me‑B‑N涂层，该钛合金和高温合金加工用的涂层刀具的制备方法，包括以下步骤：基体预处理步骤：将刀具进行清洗干燥后，送入腔室；腔室抽真空步骤：通过机械泵和分子泵抽真空；离子刻蚀步骤：向腔室内通入高纯Ar，保持腔室内加热器温度，加负偏压，对基体进行离子刻蚀，去除刀具表面的氧化皮和疏松层；沉积Me‑B‑N系涂层步骤：向腔室内连续通入高纯N2和高纯Ar，同时保持腔室内加热器温度恒定，基体加负偏压，采用磁控溅射技术或电弧等离子体技术，沉积具有一定厚度的Me‑B‑N系涂层；冷却取样步骤：开启炉体循环冷却系统，待腔室在真空状态下冷却后即可打开腔室，取出工件。

主权项：1.一种钛合金和高温合金加工用的涂层刀具，其特征在于：所述涂层刀具的涂层为Me-B-N涂层；所述Me-B-N涂层为Me1-Me2-B-N，其中Me1为过渡族金属元素Hf、V、Nb、Ta、Mo中的一种或者多种元素，Me2为过渡族金属元素Ti、Zr、Cr、W中的一种或者多种元素，各元素原子百分比为：Me1的百分比是4~36%，Me2的百分比是4~36%，B的百分比是15~60%，N的百分比是10~65%，所述Me-B-N涂层包括有Me1Nx相、Me2Nx相和BN相。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东工业大学 一种钛合金和高温合金加工用的涂层刀具及其制备方法

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