申请/专利权人：上海帆测科技发展有限公司

申请日：2021-03-30

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN217468337U

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.20#授权

摘要：本实用新型提供了一种用于模组测试的自动探针台，属于晶圆测试领域，该自动探针台包括支撑体、固定设置在支撑体上的控制单元以及受控制单元控制在支撑体上平移的送料机构和探针检测装置，探针检测装置的移动方向与送料机构的移动方向垂直；送料机构包括在支撑体上平移的检测台、固定设置在检测台上的定位夹具以及用于驱动检测台在支撑体上平移的第一平移机构；探针检测装置包括用于与模组接触的探针、用于图像采集的摄像头、用于驱动探针和摄像头在支撑体上平移的第二平移机构以及用于驱动探针和摄像头在第二平移机构上纵向移动的第三平移机构。该自动探针台可自动化完成通讯模组的检测工作，效率高，适于通讯模组的批量化生产，降低检测成本。

主权项：1.一种用于模组测试的自动探针台，其特征在于，包括支撑体1、固定设置在所述支撑体1上的控制单元4以及受所述控制单元4控制在所述支撑体1上平移的送料机构2和探针检测装置3，所述探针检测装置3的移动方向与所述送料机构2的移动方向垂直；所述送料机构2包括在所述支撑体1上平移的检测台21、固定设置在所述检测台21上的定位夹具22以及用于驱动所述检测台21在所述支撑体1上平移的第一平移机构23；所述探针检测装置3包括用于与模组接触的探针31、用于图像采集的摄像头32、用于驱动所述探针31和所述摄像头32在所述支撑体1上平移的第二平移机构33以及用于驱动所述探针31和所述摄像头32在所述第二平移机构33上纵向移动的第三平移机构34。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海帆测科技发展有限公司 一种用于模组测试的自动探针台

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