申请/专利权人:上海新微技术研发中心有限公司
申请日:2021-09-30
公开(公告)日:2022-09-20
公开(公告)号:CN217470278U
主分类号:H04R17/00
分类号:H04R17/00;H04R19/00;H04R7/12
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.09.20#授权
摘要:本实用新型提供一种声学压电薄膜器件结构,包括:支撑体;压电膜层结构,压电膜层结构覆盖支撑体所包围的区域,其周缘固定连接于支撑体上,压电膜层结构包括压电层及覆盖于压电层上下表面的电极层,压电膜层结构包括内部区域和环绕于内部区域的外部区域,内部区域与外部区域之间具有电极分割区,电极分割区将电极层分割成中心电极层与外围电极层。本实用新型设计的声学压电膜层结构能够降低压电膜层结构的翘曲度以及控制翘曲引起的狭缝区透声通道宽度的增加,并且本实用新型的电极层全面覆盖压电膜层表面且可以通过纵向多压电层和横向多电极层之间新颖的分割和串联或者并联的电学连接方式,实现压电膜层全区域的机电转换,提高机电转化效率。
主权项:1.一种声学压电薄膜器件结构,其特征在于,所述声学压电薄膜器件结构包括:支撑体;压电膜层结构,所述压电膜层结构覆盖所述支撑体所包围的区域,所述压电膜层结构的周缘固定连接于所述支撑体上,所述压电膜层结构包括压电层及覆盖于所述压电层上下表面的电极层,压电膜层结构包括内部区域和环绕于内部区域的外部区域,内部区域与外部区域之间具有电极分割区,所述电极分割区将所述电极层分割成中心电极层与外围电极层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海新微技术研发中心有限公司 声学压电薄膜器件结构
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