申请/专利权人：深圳迈塔兰斯科技有限公司

申请日：2022-06-27

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN217465697U

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.20#授权

摘要：本实用新型提供了一种光学位移传感器，其中，该光学位移传感器包括：光源、超透镜、位移反射层以及探测器；超透镜设置在光源的出光侧，位移反射层平行设置在超透镜远离光源的一侧，探测器设置在超透镜靠近光源的一侧；光源用于发射初始光束；超透镜用于将初始光束的一部分透射向位移反射层，另一部分反射向探测器；位移反射层用于将入射的光束反射回超透镜，并由超透镜对反射回的光束进行相位调制，将调制光束透射向探测器；探测器用于接收部分初始光束以及调制光束。通过本实用新型实施例提供的光学位移传感器，采用超透镜作为该光学位移传感器中的重要组成部分，可以提高衍射的效率，增加该光学位移传感器的信噪比，其灵敏度高，整体轻薄。

主权项：1.一种光学位移传感器，其特征在于，包括：光源1、超透镜2、位移反射层3以及探测器4；所述超透镜2设置在所述光源1的出光侧，所述位移反射层3平行设置在所述超透镜2远离所述光源1的一侧，所述探测器4设置在所述超透镜2靠近所述光源1的一侧；所述光源1用于发射初始光束；所述超透镜2用于将所述初始光束的一部分透射向所述位移反射层3，另一部分反射向所述探测器4；所述位移反射层3用于将入射的光束反射回所述超透镜2，并由所述超透镜2对所述反射回的光束进行相位调制，生成调制光束，将所述调制光束透射向所述探测器4；所述探测器4用于接收由所述超透镜2直接反射的部分初始光束，以及由所述超透镜2透射的所述调制光束。

全文数据：

权利要求：

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