申请/专利权人：山东祥烁新型材料有限公司

申请日：2022-04-26

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN217459663U

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.20#授权

摘要：本实用新型涉及熔融液提拉法的单晶生长设备领域，具体涉及一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器。包括单晶炉体和设置在单晶炉体内的圆筒形石墨加热本体，其特征在于，石墨加热本体的上端设有至少一组电极连接脚，石墨加热本体与单晶炉体底壁之间设有沿圆周阵列排布的支撑块，支撑块的上端至少设有一条第一弧形凹槽，第一弧形凹槽的形状和大小与石墨加热本体下端的形状和大小相匹配，支撑块的下端能够活动的连接在单晶炉体的底壁上。本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的直拉单晶石墨加热器的石墨加热本体的支撑结构支撑效果不佳且电极不方便拆卸的不足，提供一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器。

主权项：1.一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，包括单晶炉体和设置在单晶炉体内的圆筒形石墨加热本体（1），其特征在于，石墨加热本体（1）的上端设有至少一组电极连接脚（10），石墨加热本体（1）与单晶炉体底壁（2）之间设有沿圆周阵列排布的支撑块（3），支撑块（3）的上端至少设有一条第一弧形凹槽（30），第一弧形凹槽（30）的形状和大小与石墨加热本体（1）下端的形状和大小相匹配，支撑块（3）的下端能够活动的连接在单晶炉体的底壁上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东祥烁新型材料有限公司 一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器

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