申请/专利权人:河北金锐美科技有限公司
申请日:2021-08-12
公开(公告)日:2022-09-23
公开(公告)号:CN115097695A
主分类号:G03F7/039
分类号:G03F7/039;G03F7/004
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开
摘要:本发明涉及G03F7004,具体涉及一种阳图热敏CTP光刻胶及其制备方法。包括以下原料:按重量份计,酚醛树脂70‑90份,醚化酚醛树脂1‑3份,丙烯酸酯树脂15‑20份,三嗪衍生物5‑8份,近红外吸收剂2‑5份,结晶紫2‑5份。本发明提供的一种阳图热敏CTP光刻胶及其制备方法制备得到的阳图热敏CTP光刻胶感度高,分辨率好,耐溶剂性能极为优异。
主权项:1.一种阳图热敏CTP光刻胶,其特征在于,包括以下原料:按重量份计,酚醛树脂70-90份,醚化酚醛树脂1-3份,丙烯酸酯树脂15-20份,三嗪衍生物5-8份,近红外吸收剂2-5份,结晶紫2-5份。
全文数据:
权利要求:
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