申请/专利权人:乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
申请日:2020-12-16
公开(公告)日:2022-09-23
公开(公告)号:CN115104177A
主分类号:H01L21/31
分类号:H01L21/31
优先权:["20191218 US 16/718,321"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开
摘要:披露了蒸气输送系统,其包括:壳体本体,该壳体本体在其中限定了内部容积;多个阻流器,该多个阻流器用于接收载气,以在该内部容积中产生气体分配管线;至少两个表面,该固体或液体前体施加到该至少两个表面,以允许该载气沿这些气体分配管线在该至少两个表面上经过以与固体或液体前体蒸气混合;气体收集装置,该气体收集装置在这些气体分配管线的下游、用于将该载气和该固体或液体前体蒸气的混合物输送出系统;以及流量控制器,该流量控制器被流体地连接至载气源,以控制进给至该内部容积中的载气的进给流率。沿每个气体分配管线的气体分配流率由进给至该内部容积中的载气的进给流率控制。
主权项:1.一种用于使固体或液体前体汽化的蒸气输送系统,该蒸气输送系统包括:壳体本体,该壳体本体在其中限定了内部容积;壳体盖,该壳体盖包括气体入口和气体出口;多个阻流器,该多个阻流器被流体地连接至该气体入口、并且被配置为并且适于接收来自该气体入口的载气并且在该内部容积中产生气体分配管线;至少两个隔间或通道,该至少两个隔间或通道被包含在该内部容积的下部部分中并且在其中具有该固体或液体前体,该至少两个隔间或通道被配置为并且适于允许该载气沿这些气体分配管线在该至少两个隔间或通道上经过,以与来自其中的该固体或液体前体的蒸气混合;气体收集装置,该气体收集装置在该至少两个隔间或通道的下游、被流体地连接至该壳体盖中的气体出口,该气体收集装置被配置为并且适于将该载气和来自该固体或液体前体的蒸气的混合物输送出该系统;以及流量控制器,该流量控制器被流体地连接至载气源,该流量控制器被配置为并且适于控制该载气通过该气体入口进入该内部容积的进给流率,其中,该载气沿每个气体分配管线的气体分配流率由进给到该气体入口中的该载气的进给流率控制。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 固体和液体材料的蒸气输送系统
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