申请/专利权人:浜松光子学株式会社
申请日:2021-02-02
公开(公告)日:2022-09-23
公开(公告)号:CN115104002A
主分类号:G01B11/24
分类号:G01B11/24;G01J3/36;G01J9/00
优先权:["20200213 JP 2020-022724"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开
摘要:本发明的高度测量装置具备:光照射部,其将包含多个光束的照射光以相对于样品的高度方向倾斜的角度照射至样品,该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同;相机系统,其检测来自被照射有照射光的样品的光,并输出该光的波长信息;及控制装置,其基于波长信息而计算样品的高度;且相机系统具有:倾斜二向色反射镜,其透过率及反射率在特定波长区域内根据波长而变化,通过使来自样品的光透过及反射而将该光分离;光检测器,其从已在倾斜二向色反射镜反射的光检测反射光量;光检测器,其从已透过倾斜二向色反射镜的光检测透过光量;及处理部,其基于反射光量与透过光量的比,计算波长信息并将其输出。
主权项:1.一种高度测量装置,其具备:光照射部,其将包含多个光束的照射光以相对于测定对象物的高度方向倾斜的角度照射至所述测定对象物,该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同;光检测部,其检测来自被照射有所述照射光的所述测定对象物的光,并输出该光的波长信息;及解析部,其基于所述波长信息计算所述测定对象物的高度,所述光检测部具有:光学元件,其透过率及反射率在特定波长区域内根据波长而变化,通过使来自所述对象物的光透过及反射而将该光分离;第1光检测器,其从已在所述光学元件反射的光检测反射光量;第2光检测器,其从已透过所述光学元件的光检测透过光量;及处理部,其基于所述反射光量与所述透过光量的比,计算所述波长信息并将其输出。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 浜松光子学株式会社 高度测量装置及高度测量方法
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