申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2021-02-09

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115104000A

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06;G01J3/36;G01J9/00

优先权：["20200213 JP 2020-022724"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：膜厚测定装置具备：光照射部，其相对于对象物面状地照射光；光学元件，其在规定的波长频带中透过率及反射率对应于波长而变化，将来自对象物的光进行透过及反射而予以分离；摄像部，其对由光学元件分离的光进行摄像；及解析部，其基于来自对光进行摄像的摄像部的信号，推定对象物的膜厚；光照射部照射光学元件的规定的波长频带所包含的波长的光。

主权项：1.一种膜厚测定装置，其中，具备：光照射部，其相对于对象物面状地照射光；光学元件，其在规定的波长频带中透过率及反射率对应于波长而变化，将来自所述对象物的光进行透过及反射而予以分离；摄像部，其对由所述光学元件分离的光进行摄像；解析部，其基于来自对光进行了摄像的所述摄像部的信号，推定所述对象物的膜厚，所述光照射部照射所述光学元件的所述规定的波长频带所包含的波长的光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 膜厚测定装置及膜厚测定方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD