申请/专利权人：阿库斯蒂斯有限公司

申请日：2021-10-14

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115104255A

主分类号：H03H9/17

分类号：H03H9/17;H01L41/04

优先权：["20201203 US 17/110,675"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2022.09.23#公开

摘要：一种器件包括：在衬底上的压电层，该压电层包括包含在声谐振器中的一部分；在压电层上的第一导电层，该第一导电层包括在压电层的谐振器部分的第一侧上的声谐振器的第一电极；和在压电层上的第二导电层，该第二导电层包括在压电层的谐振器部分的第二侧上的声谐振器的第二电极。绝缘层设置在第二导电层上；互连金属层电连接到第二导电层或第一导电层，互连金属层具有延伸至绝缘层上以及与第二导电层的一部分重叠的部分，以提供耦接至第一电极和或第二电极的电容器的电容器电极。

主权项：1.一种器件，包括：压电层，所述压电层在衬底上，所述压电层包括：包含在声谐振器中的一部分；第一导电层，所述第一导电层在所述压电层上，所述第一导电层包括：在所述压电层的谐振器部分的第一侧上的所述声谐振器的第一电极；第二导电层，所述第二导电层在所述压电层上，所述第二导电层包括：在所述压电层的所述谐振器部分的第二侧上的所述声谐振器的第二电极；绝缘层，所述绝缘层在所述第二导电层上；以及互连金属层，所述互连金属层电连接到所述第二导电层或所述第一导电层，所述互连金属层具有延伸到所述绝缘层上以及与所述第二导电层的一部分重叠的部分，以提供耦接到所述第一电极和或所述第二电极的电容器的电容器电极。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 阿库斯蒂斯有限公司 具有集成电容器的体声波谐振器滤波器

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