申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2022-06-20

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115101432A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本申请公开了一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法，检测装置在装载腔室内的晶圆盒运动时，检测表征晶圆盒中的晶圆的类型的参数信息；控制器根据参数信息判定晶圆的类型；若判定出晶圆的类型，则确定晶圆在晶圆盒内正常放置，状态正常；若判定不出晶圆的类型，则确定晶圆在晶圆盒内异常放置，状态异常。可见，本申请可检测晶圆的类型，还可确定晶圆的状态，使得装载腔室不再对晶圆的类型有限制要求，则对于工艺加工过程相同但类型不同的晶圆，就可以使用同一装载腔室同时装载，且可以使用同一机台同时加工，从而减少了机台数量，节约了成本，且避免了因装载参数更改产生的减少产能的问题，及因设置多个装载腔室产生的增加设备复杂度的问题。

主权项：1.一种晶圆装载设备，其特征在于，包括：装载腔室，用于通过晶圆盒装载晶圆；检测装置，用于在所述装载腔室内的所述晶圆盒运动时，检测表征所述晶圆盒中的所述晶圆的类型的参数信息；控制器，用于根据表征所述晶圆的类型的参数信息，判定所述晶圆的类型；若判定出所述晶圆的类型，则确定所述晶圆在所述晶圆盒内正常放置，状态正常；若判定不出所述晶圆的类型，则确定所述晶圆在所述晶圆盒内异常放置，状态异常。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法

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