申请/专利权人:苏州汉天下电子有限公司
申请日:2022-06-30
公开(公告)日:2022-09-23
公开(公告)号:CN115102521A
主分类号:H03H9/02
分类号:H03H9/02;H03H9/05;H03H9/54;H03H3/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开
摘要:本发明提供了一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法。该体声波滤波器包括:第一衬底;位于第一衬底的沿竖直方向设置的至少两个体声波谐振器,体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构;沿竖直方向相邻设置的体声波谐振器包括第一体声波谐振器和第二体声波谐振器;第一衬底内设置有第一空腔结构,第一空腔结构位于第一体声波谐振器和第一衬底之间,第一空腔结构作为第一体声波谐振器的声反射结构;第二体声波谐振器位于第一空腔结构内,且与第一体声波谐振器在竖直方向间距预设距离。本发明实施例提供的技术方案降低了体声波滤波器的封装尺寸,规避了体声波谐振器间的耦合寄生效应来提升体声波滤波器的带外抑制。
主权项:1.一种体声波滤波器,其特征在于,包括:第一衬底;位于所述第一衬底的沿竖直方向设置的至少两个体声波谐振器,所述体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构;沿竖直方向相邻设置的体声波谐振器包括第一体声波谐振器和第二体声波谐振器;所述第一衬底内设置有第一空腔结构,所述第一空腔结构位于所述第一体声波谐振器和所述第一衬底之间,所述第一空腔结构作为所述第一体声波谐振器的声反射结构;所述第二体声波谐振器位于所述第一空腔结构内,且与所述第一体声波谐振器在竖直方向间距预设距离。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 苏州汉天下电子有限公司 一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法
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