申请/专利权人：深圳凯世光研股份有限公司

申请日：2022-07-04

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115097699A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本发明涉及一种前后双平台曝光机，解决现有技术的工件曝光设备曝光效率低的问题。包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及曝光装置，曝光时，第一供料机构从前侧进行上料，第一供料机构沿曝光台滑动将工件送到曝光装置下方进行曝光，同时第二供料机构从后侧进行上料，第二供料机构上料完毕，第一供料机构上的工件曝光完毕，然后第一供料机构返回将工件送出至第一供料机构上料的位置，然后第一供料机构滑动将工件送到曝光装置下方进行曝光，此时第一供料机构进行下料后并进行上料，第二供料机构上的工件曝光完毕，然后第二供料机构返回将工件送出至第二供料机构上料的位置，如此反复，从而前后双平台上下料，前后双台面交替作业，生产效率高。

主权项：1.一种前后双平台曝光机，包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及用于工件曝光的曝光装置，其特征在于：所述的底座上横跨曝光台中部上方设有曝光龙门支架，所述的曝光装置设置在曝光龙门支架上，所述的曝光台的前后两侧分别设有第一供料机构和第二供料机构，第一供料机构和第二供料机构分别沿曝光台前后滑动设于底座上，所述的底座上分别设有驱动第一供料机构和第二供料机构分别沿曝光台前后滑动的第一供料机构驱动机构和第二供料机构驱动机构；所述的曝光装置前后两侧的底座上分别设有第一工件位置标定装置和第二工件位置标定装置，第一工件位置标定装置和第二工件位置标定装置均包括有横跨曝光台的标定龙门支架，以及滑动设于标定龙门支架上的标定相机，所述的标定龙门支架上设有驱动标定相机沿标定龙门支架滑动的相机驱动机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳凯世光研股份有限公司 一种前后双平台曝光机

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