申请/专利权人：天津华瑞新材料科技有限公司

申请日：2022-07-06

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115094392A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/32;C23C14/16;C22C1/03;C22C19/05;B22D7/00;B22D7/06;B22D7/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本发明公开一种细晶高致密镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，通过成分设计制备AlSi、AlY共晶合金和NiCr20合金，按靶材指定成分配料并真空熔炼获得镍铬铝钇硅合金熔液；浇铸时，利用倾斜冷却器提高合金熔液流动性和降低浇注温度，细化铸锭晶粒；利用保温冒口与石墨模具之间的锥形引流片使合金熔液沿模壁浇注，细化铸锭晶粒；同时结合模具底部超声振动细化晶粒、下端循环冷却促使铸锭定向凝固，细化晶粒并提高致密度。本发明工艺制备得到的镍铬铝钇硅合金靶材具有细晶、致密度高的特点，制备的镀层致密、平整、结合力好。

主权项：1.一种细晶高致密镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，其特征在于：先熔炼中间共晶合金锭坯AlSi合金、AlY合金和NiCr合金，再根据合金成分配料，熔炼镍铬铝钇硅合金锭坯。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津华瑞新材料科技有限公司 一种细晶高致密镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法

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