申请/专利权人：上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司

申请日：2022-07-07

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115101450A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/027;G03F7/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本说明书实施例提供一种光刻胶瓶及光刻胶装置，光刻胶瓶包括：瓶体和瓶盖，瓶盖和瓶体之间配合连接，刻胶瓶还包括：进气管、出胶管、胶管锁紧件和欧姆龙传感器；胶管锁紧件紧套于进气管和出胶管外部，胶管锁紧件穿过瓶盖，胶管锁紧件与瓶盖之间相连接，出胶管底端插入瓶体内的胶液内，进气管底端位于瓶体内的胶液上方；欧姆龙传感器安装于出胶管上。通过胶管锁紧件对出胶管和进气管与瓶盖之间进行固定，避免出胶管和进气管位于瓶体内的部分发生移动，保证出胶管插入到瓶体底部，避免瓶体内的气体进入出胶管导致晶圆缺胶，同时在出胶管上安装欧姆龙传感器，能够及时发现胶量不足，避免出现因缺胶导致生产效率降低。

主权项：1.一种光刻胶瓶，所述光刻胶瓶包括：瓶体和瓶盖，所述瓶盖和所述瓶体之间配合连接，其特征在于，所述刻胶瓶还包括：进气管、出胶管、胶管锁紧件和欧姆龙传感器；所述胶管锁紧件紧套于所述进气管和所述出胶管外部，所述胶管锁紧件穿过所述瓶盖，所述胶管锁紧件与所述瓶盖之间相连接，所述出胶管底端插入所述瓶体内的胶液内，所述进气管底端位于所述瓶体内的胶液上方；所述欧姆龙传感器安装于所述出胶管上；其中，外部气体经由所述进气管进入瓶体内，将所述瓶体内的胶液经由出胶管压出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司 一种光刻胶瓶及光刻胶装置

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