申请/专利权人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院

申请日：2022-08-02

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115097692A

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00;G03F9/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本申请公开了一种纳米压印拼板方法及设备，涉及微纳米压印技术领域，其中方法先获取模板上的第一标记以及用于支撑模板的底座上的第二标记，再基于获取的标记信息带动模板相对于底座转动，直至第一标记与第二标记满足第一预设关系，以使得模板完成自我校准，从而使得拼接的图形之间所需要的角度关系能够得到很好的满足。再带动模板整体运动和或带动基板整体运动，以使得模板与基板上的目标压印位置对准，之后再带动模板往朝向基板的方向运动和或带动基板往朝向模板的方向运动，以使得模板与基板相贴合进行压印。通过上述这一方法设计，能够实现高精度的拼板压印作业，而且加工周期短、加工成本低。

主权项：1.一种纳米压印拼板方法，其特征在于，包括步骤：S1，获取模板上的第一标记以及用于支撑所述模板的底座上的第二标记；S2，驱动所述模板相对于所述底座转动，直至所述第一标记与所述第二标记满足第一预设关系，以使得所述模板完成自我校准；S3，驱动所述模板整体运动和或驱动基板整体运动，以使得所述模板与所述基板上的目标压印位置对准；S4，驱动所述模板往朝向所述基板的方向运动和或驱动所述基板往朝向所述模板的方向运动，以使得所述模板与所述基板相贴合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 一种纳米压印拼板方法及设备

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