申请/专利权人：三三智能科技(日照)有限公司

申请日：2022-08-24

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115101662A

主分类号：H01L41/37

分类号：H01L41/37;H01L41/45;D01F1/10;D01F6/48;D04H1/4318;D04H1/728

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.09.01#发明专利申请公布后的视为撤回;2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本发明公开了一种压电薄膜制备工艺，具体涉及功能材料技术领域。本发明通过静电纺丝的方法制备了PVDFEC‑TiO2复合纳米纤维薄膜并测试了其压电性能，结果表明：EC‑TiO2和静电纺丝可提高PVDF内β相含量，两者具有协同作用，使复合纤维薄膜的压电信号从1.5nA以内增至2.0nA以上，而且由于结晶度的提高和界面层的存在，薄膜的力学性能也有一定的提高，添加3%的EC‑TiO2后，PVDF压电薄膜输出电流强度提高到了2nA以上，且随着EC‑TiO2含量的提高，其断裂强度不断提高，弹性模量也呈升高的趋势，进而对PVDF压电薄膜的加工良品率起到了提升效果。

主权项：1.一种压电薄膜制备工艺，其特征在于，包括以下制备方法：S1、原料预制：首先配置浓度15%的PVDF溶液，将质量分数为15%的PVDF粉末与质量分数为85%的二甲基甲酰胺溶液搅拌使其充分混合，并在混合过程中加入适量的丙酮，持续加热混合溶液以高速搅拌器对溶液进行混合，加入EC-TiO2后进行二次混合处理，得到二次混合溶液；S2、静置处理：取适量的二次混合溶液倒入流延器皿，其中流延器皿内部粗糙度≥0.003微米，将流延器皿置于已调成水平的流延台上，让二次混合溶液在流延皿表面均匀地铺展开，采用匀胶的方法制备PVDF薄膜，把承载二次混合溶液的流延器皿固定在匀胶机旋转台上，将配置好的PVDF溶液滴到底电极表面，匀速处理一段时间后，进行真空放置处理，得到真空处理溶液；S3、加热处理：静置一段时间后将真空处理溶液取出，采用加热的方式去除真空处理溶液中的溶剂，真空处理溶液中的溶剂则会在高温下水分之间蒸发，此时PVDF就在流延器皿表面形成了厚度均匀的PVDF薄膜；S4、电极层处理：喷金形成上电极层，通过电子束在PVDF薄膜上沉积300nm厚的金层作为顶电极，然后通过光刻法做顶电极的掩膜，将掩模板上的图形转移光刻胶上，用金刻蚀剂刻出顶电极的图案，得到电极层薄膜；S5、极化处理：退火后，在电极层薄膜的表面镀上免烧银电极，将电极层薄膜放在极化装置中，进行极化；S6、拉伸处理：对已经制备的PVDF薄膜进行单轴拉伸极化，将流延法制作好的PVDF初始膜剪裁成与工装夹具所需的形状，做好标记线，将薄膜装在夹具上，放入拉伸机中，采用温控机保持温度匀速拉伸初始膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三三智能科技(日照)有限公司 一种压电薄膜制备工艺

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