申请/专利权人：株式会社三丰

申请日：2019-01-15

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN110044391B

主分类号：G01D5/26

分类号：G01D5/26;G01D5/34;G01D5/353

优先权：["20180116 JP 2018-004922"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权;2021.02.02#实质审查的生效;2019.07.23#公开

摘要：测量装置S包括：光源1，其发射光；标尺4，其具有多个轨道，所述多个轨道的图案彼此不同，所述多个轨道使由光源1发射的光的至少一部分通过；光接收部件51，其具有多个光接收元件，每个光接收元件输出与通过所述轨道接收的光强度对应的光信号；信号生成部件52，其生成系列信号并发送生成的串行信号，在所述串行信号中多个光信号被时分复用。

主权项：1.一种测量装置，包括：发光部件，其发射光；标尺，其包括多个轨道，所述多个轨道的图案彼此不同，所述多个轨道使由所述发光部件发射的光的至少一部分通过；光接收部件，其包括多个光接收元件，每个光接收元件输出与通过所述多个轨道接收的光的强度对应的光信号；以及信号生成部件，其生成串行信号并发送所生成的串行信号，在所述串行信号中多个光信号被时分复用，其中，所述信号生成部件在i通过时分复用所有光信号生成一个串行信号的模式和ii通过将所述光信号分成两组并时分复用每组而生成两个串行信号的模式之间切换。

全文数据：测量装置技术领域本发明涉及一种包含编码器的测量装置。背景技术光学编码器被认为是用于通过识别标尺的位置与光接收元件的位置之间的关系来测量待测对象的位置或位移量的测量装置。日本专利第5976279号公开了一种光学编码器，其输出对应于通过标尺上提供的轨道接收的光强度的光信号。发明内容[本发明所要解决的问题]为了基于通过轨道获取的光信号识别绝对位置，必须将光信号传输到处理装置，以基于光信号计算绝对位置。需要与光信号的数量对应的传输线来传输光信号。结果，存在这样的问题，即在印刷电路板上形成的传输线的面积或用于传输线的线缆的尺寸必须很大。本发明着眼于这些点，并且本发明的目的在于减少用于基于光信号测量绝对位置的测量装置中的传输线的数量。[解决问题的方法]根据本发明的测量装置包括：发光部件，其发射光；标尺，其包括多个轨道，所述多个轨道的图案彼此不同，所述多个轨道使由所述发光部件发射的光的至少一部分通过；光接收部件，其包括多个光接收元件，每个光接收元件输出与通过所述多个轨道接收的光强度对应的光信号；信号生成部件，其生成串行serial信号并发送生成的串行信号，在所述串行信号中多个光信号被时分复用。信号生成部件可包括将所述多个光信号的电平保持预定时间的电平保持部件，并且可以通过时分复用其电平已被电平保持部件保持的所述多个光信号来生成串行信号。信号生成部件可发送第一串行信号和第二串行信号，在所述第一串行信号中，具有第一相位的多个光信号被时分复用，在所述第二串行信号中，具有与第一相位相差180度的第二相位的多个光信号被时分复用。此外，信号生成部件可包括调整串行信号的波形的波调整部件。测量装置还可包括：传输线，其传输由所述信号生成部件生成的串行信号；位置识别部件，其基于从通过所述传输线接收的串行信号提取的所述多个光信号，识别所述标尺和所述光接收部件之间的位置关系。信号生成部件可包括：选择部件，其从所述多个光信号选择一个光信号，以及选择信号生成部件，其生成用于所述选择部件选择所述一个光信号的选择信号。选择信号生成部件例如生成比所述多个光信号的周期短的周期的变化的选择信号。选择信号生成部件可生成与通过传输线从所述位置识别部件接收的时钟同步的选择信号。信号生成部件可包括：定时信号生成部件，其生成定时信号，该定时信号指定位置识别部件的定时以获取包括在串行信号中的多个光信号。选择信号生成部件可生成选择信号，所述选择信号随着满足条件T2≤T12M的时间间隔T2而变化，其中T1是当标度以最高速度移动时生成的光信号的周期，并且M是多路复用的光信号的数量。信号生成部件可在接收串行信号的模式和从另一外部设备接收输出数据的模式之间切换。此外，信号生成部件可在i通过时分复用所有光信号生成一个串行信号的模式和ii通过将所述光信号分成两组并时分复用每组而生成两个串行信号的模式之间切换。[本发明的效果]根据本发明，实现了减少用于基于光信号测量绝对位置的测量装置中的传输线的数量的效果。附图说明图1示出了测量装置的示意性配置。图2示出了根据第一实施例的信号生成部件的配置。图3示出了信号生成部件输出的串行信号与时钟的定时之间的关系。图4示出了根据第二实施例的信号生成部件的配置。图5示出了信号生成部件输出的串行信号与时钟的定时的关系。图6示出了根据第三实施例的信号生成部件的配置。图7示出了信号生成部件输出的串行信号与时钟的定时的关系。具体实施方式测量装置S的配置图1示出了测量装置S的示意性配置。测量装置S是用于通过使用增量测量方法和绝对测量方法来测量待测对象的位置的装置。增量测量方法是通过继续识别标尺相对于在操作启动initiate之后设置的初始位置的相对位置来测量位置的方法。绝对测量方法是通过识别标尺相对于在操作启动之前预定的测量参考位置的绝对位置来测量位置的方法。测量装置S包括光源1、透镜2、光栅3、标尺4、光接收单元5、线缆6和处理装置7。光源1、透镜2、光栅3、标尺4和光接收单元5用作位置检测编码器。线缆6用作传输由光接收单元5传输的串行信号的传输线。处理装置7通过用作传输线的线缆6传输包含用于控制光接收单元5的控制数据的串行信号。此外，处理装置7用作用于识别标尺4和光接收单元5之间的位置关系的位置识别部件。光源1是用作用于发射光的发光部件的设备，例如发光二极管LED。光源1设置有朝向透镜2发射光的定向。透镜2改变从光源1输入的光的定向，使得由光源1发射的光照亮标尺4的预定区域。具体地，透镜2将由光源1发射的光转换为平行光线，使得由光源1发射的光通过标尺4上形成的轨道到达光接收单元5。由透镜2转换为平行光线的光进入光栅3。光栅3使通过透镜2进入的光的照度均匀化。具体地，光栅3使在光接收单元5的检测到光的区域中经由透镜2进入的平行光线的照度的分布均匀化。应当注意，当从透镜2发射的平行光线的照度的分布足够均匀时，测量装置S不需要光栅3。标尺4是具有轨道的面板，轨道的图案彼此不同并且使光源1发射的光的至少一部分通过。标尺4具有第一轨道41、第二轨道42和第三轨道43，在每个轨道中，透射transmit光的区域和不透射光的区域按顺序排列。标尺4在第一轨道41、第二轨道42和第三轨道43处透射通过光栅3进入的光的部分，并根据光接收单元5中的位置生成强度不同的透射光。第一轨道41和第三轨道43是绝对标尺图案下文中使用“ABS图案”指代，其用于通过绝对测量方法识别待测对象的位置。第一轨道41的图案的周期与第三轨道43的图案的周期不同。第二轨道42是增量标尺图案下文中使用“INC图案”指代，其用于通过增量测量方法识别待测对象的位置。第二轨道42的图案的周期短于第一轨道41的图案的周期和第三轨道43的图案的周期。光接收单元5包括光接收部件51、信号生成部件52和通信部件53。光接收部件51基于通过第一轨道41透射的光来输出彼此相位不同的多个第一光信号。光接收部件51基于通过第二轨道42透射的光来输出彼此相位不同的多个第二光信号。光接收部件51基于通过第三轨道43透射的光来输出彼此相位不同的多个第三光信号。光接收部件51具有多个光接收元件，每个光接收元件输出分别与通过第一轨道41、第二轨道42和第三轨道43接收的光的强度对应的光信号，以便输出具有不同相位的多个光信号。多个光接收元件例如是将光转换成电流的光电元件。通过第一轨道41接收光的多个第一光接收元件在标尺4的水平longitude方向上对准，其密度对应于在第一轨道41上形成的ABS图案的周期中的四个元件。通过第二轨道42接收光的多个第二光接收元件在标尺4的水平方向上对准，其密度对应于在第二轨道42上形成的INC图案的周期中的四个元件。通过第三轨道43接收光的多个第三光接收元件在标尺4的水平方向上对准，其密度对应于在第三轨道43上形成的ABS图案的周期中的四个元件。由于四个光接收元件在标尺4上形成的图案的周期中对准，所以四个光接收元件输出相位彼此相差90度的四个光信号。在本说明书中，具有不同相位的四个光信号被称为A信号、AB信号、B信号和BB信号。B信号的相位与A信号的相位相比延迟90度。AB信号的相位与A信号的相位相比延迟180度。BB信号的相位与A信号的相位相比延迟270度。光接收部件51对于第一轨道41、第二轨道42和第三轨道43中的每一个生成A信号、AB信号、B信号和BB信号。换句话说，光接收部件51基于通过第一轨道41、第二轨道42和第三轨道43接收的光生成12个光信号，并将生成的光信号输入到信号生成部件52。信号生成部件52通过对从光接收部件51输入的多个光信号进行时分复用来生成串行信号。信号生成部件52通过线缆6将生成的串行信号发送到处理装置7。下面将描述信号生成部件52的示例性配置的细节。通信部件53通过线缆6向处理装置7发送并从处理装置7接收时钟和控制数据。通信部件53是用于对应于例如串行外围接口SPI通信的设备，并且接收时钟SK和输入数据DI，并将输出数据DO发送到处理装置7。下面，将解释信号生成部件52的细节。信号生成部件52的第一实施例图2示出了根据第一实施例的信号生成部件52a的配置。信号生成部件52a包括输入放大器521、信号选择部件522、输出放大器523523-1、523-2、DA转换器524524-1、524-2和控制部件525。生成部件52a是集成电路，其中例如混合了数字电路和模拟电路。输入放大器521将从光接收部件51输入的光电流信号变换为电压信号。在如图2所示的示例中，信号生成部件52a具有12个输入放大器521。应当注意，图2中来自M1A至M1BB的信号是对应于第一轨道41的A信号、AB信号、B信号和BB信号。类似地，来自M2A至M2BB的信号和来自M3A至M3BB的信号是对应于第二轨道42和第三轨道43中的每一个的A信号、AB信号、B信号和BB信号。信号选择部件522从多个光信号中选择一个光信号并输出所选择的信号。具体地，信号选择部件522具有多个开关，每个开关的一个端子连接到多个输入放大器521中的相应一个的输出端子，另一个端子连接到输出放大器523-1或输出放大器523-2的输入端子。在如图2所示的示例中，对应于A信号和B信号的开关的另一端子连接到输出放大器523-1，并且对应于AB信号和BB信号的开关的另一端子连接到输出放大器523-2。信号选择部件522可基于控制部件525的控制，接通开关之一其另一端子连接到相同的输出放大器523并且可关闭其他开关。这样，信号选择部件522可将A信号和B信号中的一个光信号输入到输出放大器523-1，并且可将AB信号和BB信号中的一个光信号输入到输出放大器523-2。信号选择部件522根据从控制部件525输入的选择信号来选择要接通的开关。选择信号是其位宽例如，6位对应于信号选择部件522所具有的开关的数量的数据。当选择信号的较低的3位例如分别是000、001、010、011、100和101时，信号选择部件522接通用于将M1A信号、M1B信号、M2A信号、M2B信号、M3A信号和M3B信号输入至输出放大器523-1的开关。此外，当选择信号的高3位例如分别是000、001、010、011、100和101时，信号选择部件522接通用于将M1AB信号、M1BB信号、M2AB信号、M2BB信号、M3AB信号和M3BB信号输入至输出放大器523-2的开关。输出放大器523的每个用作波调节部件，其调节通过信号选择部件522输入的光信号的波。具体地，输出放大器523的每个在通过改变输入光信号的偏移来调节光信号或放大输入光信号之后，将光信号输出到线缆6。每个输出放大器523可基于从处理装置7接收控制数据的控制部件525的控制，在多个阶段中改变其放大率。输出放大器523-1从OUT1端子输出放大的光信号，输出放大器523-2从OUT2端子输出放大的光信号。DA转换器524的每个基于控制部件525的控制生成用于输出放大器523的放大器的偏移消除电压。DA转换器524例如每个输出用于消除放大器的偏移元件的偏移消除电压。DA转换器524-1生成输入到输出放大器523-1的偏移消除电压，DA转换器524-2生成输入到输出放大器523-2的偏移消除电压。控制部件525包括中央处理单元CPU、只读存储器ROM和随机存取存储器RAM。通过执行存储在ROM中的程序，控制部件525基于通过通信部件53从处理装置7接收的控制数据来控制信号生成部件52的每个部分。控制部件525例如通过基于控制数据控制输出放大器523和DA转换器524，来调整光信号的偏移或调整光信号的幅度。此外，控制部件525具有用作选择信号生成部件的电路，该选择信号生成部件生成用于选择信号选择部件522输入到输出放大器523-1还是输出放大器523-2的一个光信号的选择信号。控制部件525与通过线缆6从处理装置7接收的时钟SK同步地生成选择信号。控制部件525生成选择信号，该选择信号的变化周期短于从光接收部件51输入的光信号的周期。这里，当标尺4以由测量装置S的规格指定的最高速度移动时生成的对应于第二轨道42的光信号的周期被假设为T1。此外，多路复用的光信号的数量，换句话说，输入到输出放大器523-1或输出放大器523-2的光信号的数量被假设为M。在这种情况下，改变由控制部件525生成的选择信号的时间间隔T2被设置为满足条件T2≤T12M。如果T2被设置为满足上述条件，则每个光信号可以以每个光信号的频率的两倍或更多倍的频率即，以大于奈奎斯特频率的频率被采样，并作为时分复用的串行信号输出到处理装置7。因此，处理装置7可基于包含在串行信号中的光信号来再生成光接收部件51输出的光信号。图3示出了信号生成部件52a输出的串行信号和时钟SK的定时之间的关系。输入数据DI是由处理装置7输出的数据，输入数据DI显示信号生成部件52a可发送串行信号的时间段。控制部件525还用作定时信号生成部件，其生成用于指定处理装置7获取包含在串行信号中的光信号的定时的定时信号。具体地，在检测到输入数据DI处于低电平时，控制部件525生成通过将时间延迟td与时钟SK相加而生成的输出数据DO，作为处理装置7用于获取光信号的定时信号，并使通信部件53输出生成的输出数据DO。如图3所示，OUT1信号，作为从OUT1端子输出的第一串行信号，按照与时钟SK的下降定时同步地改变的选择信号的值，依次改变为与时钟SK的下降定时同步的M1A信号、M1B信号、M2A信号、M2B信号、M3A信号和M3B信号。类似地，OUT2信号，作为从OUT2端子输出的第二串行信号，依次改变为M1AB信号、M1BB信号、M2AB信号、M2BB信号、M3AB信号和M3BB信号。OUT1信号是具有第一相位的光信号被时分复用的信号，OUT2信号是具有与第一相位的差为180度的第二相位的光信号被时分复用的信号。因此，通过同时发送相位彼此相差180度的光信号，接收器侧容易去除相同相位的噪声。处理装置7基于从通过诸如线缆6的传输线接收的串行信号提取的光信号来识别标尺4和光接收部件51之间的位置关系。处理装置7在输出数据DO的上升定时处获取通过线缆6接收的OUT1信号中包含的光信号。处理装置7例如通过在输出数据DO的上升定时处执行中断处理来获取OUT1信号和OUT2信号。由于输出数据DO从时钟SK延迟了时间td，所以输出数据DO在OUT1信号和OUT2信号不改变的定时处上升。因此，处理装置7可在OUT1信号和OUT2信号的值变得稳定的定时处获取OUT1信号和OUT2信号，因此发生数据错误的概率低。处理装置7基于包含在OUT1信号和OUT2信号中的M1A信号、M1B信号、M1AB信号和M1BB信号，识别在第一轨道41上形成的ABS图案的一个周期中的位置。此外，处理装置7基于包含在OUT1信号和OUT2信号中的M3A信号、M3B信号、M3AB信号和M3BB信号来识别在第三轨道43上形成的ABS图案的一个周期中的位置。然后，处理装置7通过基于在第一轨道41上形成的ABS图案的一个周期以及在第三轨道43上形成的ABS图案的一个周期中的识别位置的组合合成相位，来识别光接收单元5相对于标尺4的绝对位置。处理装置7还可以基于包含在OUT1信号和OUT2信号中的M2A信号、M2B信号、M2AB信号和M2BB信号识别相对于参考位置的相对位置。通信部件53的操作模式信号生成部件52基于通过通信部件53从处理装置7接收的控制数据，调整作为串行信号通过通信部件53发送的光信号的偏移和幅度。通信部件53在与从处理装置7发送的时钟SK同步的定时处获取包含控制数据的输入数据DI。此外，通信部件53在与时钟SK同步的定时处发送由控制部件525生成的输出数据DO。控制部件525可接收控制数据并同时发送输出数据DO，但是控制部件525可基于来自另一外部设备的指令在接收控制数据的操作模式和发送输出数据DO的操作模式之间切换。如果控制部件525因此切换操作模式，则减少了在发送输出数据DO期间的负荷，并且控制部件525更容易通过软件执行处理。如上所述，信号生成部件52a通过对从信号接收部件输入的12个光信号中的M1A信号、M1B信号、M2A信号、M2B信号、M3A信号和M3B信号时分复用来生成OUT1信号。此外，信号生成部件52a通过对M1AB信号、M1BB信号、M2AB信号、M2BB信号、M3AB信号和M3BB信号时分复用来生成OUT2信号。通过这样做，光接收单元5可使用两条传输线将12个光信号发送到处理装置7，因此即使当光接收单元5和处理装置7通过线缆6连接时，也可以减小线缆6的直径。信号生成部件52的第二实施例图4示出了根据第二实施例的信号生成部件52b的配置。图5示出了信号生成部件52b输出的串行信号和时钟SK的定时的关系。信号生成部件52b与信号生成部件52a的不同之处在于，信号生成部件52b具有输入放大器526，而不是图2中所示的输入放大器521，而信号生成部件52b与信号生成部件52a在所有其他方面相同。输入放大器526在输入放大器521的后级具有采样和保持电路，其用作用于将光信号的电平保持预定时间的电平保持部件。输入放大器526在预定定时处捕获从光接收部件51输入的光信号的电平，并继续将捕获的光信号输出到信号选择部件522，同时保持捕获的电平。信号选择部件522以顺序方式将从输入放大器526输出的光信号的保持电平输入到输出放大器523-1和输出放大器523-2。在图5中所示的示例中，当在输入数据DI的下降定时之后经过延迟时间tsh时，控制部件525将SH信号改变为低电平，并使输入放大器526捕获光信号的电平。OUT1端子输出串行信号，其中在SH信号改变为低电平时的定时处M1A信号、M1B信号、M2A信号、M2B信号、M3A信号和M3B信号被时分复用。此外，OUT2端子输出串行信号，其中在SH信号改变为低电平的定时处M1AB信号、M1BB信号、M2AB信号、M2BB信号、M3AB信号和M3BB信号被时分复用。因此，信号生成部件52b同时采样并保持光信号，并且发送通过以时分复用的方式保持光信号而获得的值。通过这样做，可以缩短光源1接通的时间段，因此可减少消耗的电流。此外，可以发送相同定时的光信号的值。此外，即使处理装置7不根据接收到的串行信号中所包含的光信号的值再生成光信号的波形，而是按原样使用光信号的值，处理装置7也可以高精度地识别标尺4和光接收单元5之间的位置关系。在这种情况下，即使控制部件525以长于光信号的一半时间段的时间间隔切换信号选择部件522，处理装置7也可以获取相同定时的光信号的值。结果，即使当标尺4快速移动时，处理装置7也可以识别标尺4和光接收单元5之间的位置关系。信号生成部件52的第三实施例图6示出了根据第三实施例的信号生成部件52c的配置。图7示出了信号生成部件52c输出的串行信号和时钟SK的定时的关系。信号生成部件52c与信号生成部件52b的不同之处在于，信号生成部件52c具有信号选择部件527，而不是图4中所示的信号选择部件522，而信号生成部件52c与信号生成部件52b在所有其他方面相同。信号选择部件527具有对应于所有光信号的开关，使得输入到信号生成部件52的所有光信号可输入到输出放大器523-1。由于信号选择部件527具有这种配置，如图7所示，信号生成部件52可从OUT1端子输出串行信号，其中M1A信号、M1B信号、M2A信号、M2B信号、M3A信号、M3B信号、M1AB信号、M1BB信号、M2AB信号、M2BB信号、M3AB信号和M3BB信号被时分复用。结果，可以减少连接光接收单元5和处理装置7的线缆6的数量，或者可以减小印刷电路板上的线的面积。此外，信号选择部件527具有用于将M1A信号、M1B信号、M2A信号、M2B信号、M3A信号和M3B信号输入到输出放大器523-2的开关。信号选择部件527可以在控制部件525的控制下改变是否使用开关。也就是说，信号生成部件52可以在i如图7所示通过时分复用所有光信号来生成一个串行信号的模式和ii如图5所示通过将输入到信号生成部件52的光信号分成两组并对每组进行时分复用来生成两个串行信号的模式之间切换。由于信号生成部件52具有这种配置，因此信号生成部件52的用户可以根据可用线缆6的数量、光信号的最小周期等来选择最佳模式。变形示例1根据图2中所示的第一实施例的信号生成部件52a包括：图6中所示的根据第三实施例的信号生成部件52c的信号选择部件527，代替信号选择部件522。在这种情况下，信号生成部件52a可以在生成一个串行信号的模式和将光信号分成两组以通过对每组中的光信号进行时分复用来生成两个串行信号的模式之间切换。变形示例2信号生成部件52可以生成包含具有不同于由第一实施例的信号生成部件52a和第二实施例的信号生成部件52b生成的两个串行信号的组合的光学信号的两个串行信号。例如，信号生成部件52可生成三个串行信号其中对应于一个轨道的四个光信号被时分复用，并且将这三个串行信号发送到处理装置7。变形示例3在以上说明中，示出了测量装置S具有增量测量方法和绝对测量方法两者的示例，但是测量装置S可以具有增量测量方法和绝对测量方法中的任一者。变形示例4在上面的说明中，示出了光接收单元5和作为位置识别部件的处理装置7之间的传输线是线缆6的示例，但是传输线不限于线缆6。光接收单元5和处理装置7可以设置在同一印刷电路板上，并且形成在该印刷电路板上的导电图案可以用作传输线。基于示例性实施例解释本发明。本发明的技术范围不限于上述实施例中说明的范围，并且可以在本发明的范围内进行各种改变和修改。例如，装置的分配和集成的具体实施例不限于上述实施例，其全部或部分可以配置有功能上或物理上分散或集成的任何单元。此外，通过它们的任意组合生成的新示例性实施例被包括在本发明的示例性实施例中。此外，由组合带来的新示例性实施例的效果也具有原始示例性实施例的效果。[附图标记的描述]1光源2透镜3光栅4标尺5光接收单元6线缆7处理装置51光接收部件52信号生成部件53通信部件521输入放大器522信号选择部件523输出放大器524DA转换器525控制部件526输入放大器527信号选择部件

权利要求：1.一种测量装置，包括：发光部件，其发射光；标尺，其包括多个轨道，所述多个轨道的图案彼此不同，所述多个轨道使由所述发光部件发射的光的至少一部分通过；光接收部件，其包括多个光接收元件，每个光接收元件输出与通过所述多个轨道接收的光强度对应的光信号；以及信号生成部件，其生成串行信号并发送所生成的串行信号，在所述串行信号中多个光信号被时分复用。2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述信号生成部件包括将所述多个光信号的电平保持预定时间的电平保持部件，并且通过时分复用其电平已被电平保持部件保持的所述多个光信号来生成串行信号。3.根据权利要求1或2所述的测量装置，其中，所述信号生成部件发送第一串行信号和第二串行信号，在所述第一串行信号中，具有第一相位的多个光信号被时分复用，在所述第二串行信号中，具有与第一相位相差180度的第二相位的多个光信号被时分复用。4.根据权利要求1或2所述的测量装置，其中，所述信号生成部件包括调整所述串行信号的波形的波调整部件。5.根据权利要求1或2所述的测量装置，还包括：传输线，其传输由所述信号生成部件生成的串行信号；以及位置识别部件，其基于从通过所述传输线接收的串行信号提取的所述多个光信号，识别所述标尺和所述光接收部件之间的位置关系。6.根据权利要求5所述的测量装置，其中，所述信号生成部件包括：选择部件，其从所述多个光信号中选择一个光信号；以及选择信号生成部件，其生成用于所述选择部件选择所述一个光信号的选择信号。7.根据权利要求6所述的测量装置，其中，所述选择信号生成部件生成比所述多个光信号的周期短的周期的变化的选择信号。8.根据权利要求6所述的测量装置，其中，所述选择信号生成部件生成与通过所述传输线从所述位置识别部件接收的时钟同步的选择信号。9.根据权利要求8所述的测量装置，其中，所述信号生成部包括定时信号生成部件，所述定时信号生成部件生成定时信号，所述定时信号向所述位置识别部件指定定时以获取包括在所述串行信号中的多个光信号。10.根据权利要求6所述的测量装置，其中，所述选择信号生成部件生成选择信号，所述选择信号随着满足条件T2≤T12M的时间间隔T2而变化，其中T1是当所述标度以最高速度移动时生成的光信号的周期，并且M是多路复用的光信号的数量。11.根据权利要求1或2所述的测量装置，其中，所述信号生成部件在接收串行信号的模式和从另一外部设备接收输出数据的模式之间切换。12.根据权利要求1或2所述的测量装置，其中，所述信号生成部件在i通过时分复用所有光信号生成一个串行信号的模式和ii通过将所述光信号分成两组并时分复用每组而生成两个串行信号的模式之间切换。

百度查询： 株式会社三丰 测量装置

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