申请/专利权人：株式会社三丰

申请日：2019-06-11

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN110631448B

主分类号：G01B5/004

分类号：G01B5/004;G01B5/20

优先权：["20180622 JP 2018-119127"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权;2021.06.11#实质审查的生效;2019.12.31#公开

摘要：提供了能够以高精度且在短时间内测量物体表面的测量装置和测量方法。本发明的一个方面是用于测量物体表面在第一方向和与第一方向正交的第二方向上的位置的测量装置。该测量装置包括：可移动体，其具有供物体安装的安装部、彼此不共面的第一表面和第二表面；第一标尺部，其被设置为对第一表面加压并沿着与第一表面的法线方向平行的第一标尺轴线测量第一标尺位置；第二标尺部，其被设置为对第二表面加压并沿着与第二表面的法线方向平行的第二标尺轴线测量第二标尺位置；第一探针，其具有设定在与第二方向平行的探针轴线上且设定在第一标尺轴线和第二标尺轴线的交点处的位置测量的基准点；以及第二探针，其测量沿着探针轴线的位置。

主权项：1.一种测量装置，其用于测量物体的表面在第一方向和与所述第一方向正交的第二方向上的位置，所述测量装置包括：可移动体，其具有用于安装所述物体的安装部、第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面彼此不共面；第一标尺部，其用于测量第一标尺位置并且被设置为对所述第一表面加压，所述第一标尺位置是沿着与所述第一表面的法线方向平行的第一标尺轴线的位置；第二标尺部，其用于测量第二标尺位置并且被设置为对所述第二表面加压，所述第二标尺位置是沿着与所述第二表面的法线方向平行的第二标尺轴线的位置；第一探针，在所述第一探针中，位置测量的基准点被设定在与所述第二方向平行的探针轴线上并且被设定在所述第一标尺轴线和所述第二标尺轴线的交点处；以及第二探针，其用于测量沿着所述探针轴线的位置，其中，通过所述第一标尺部和所述第二标尺部的驱动使所述可移动体在所述第一方向和所述第二方向上移动，当所述基准点与所述物体的位于一侧的表面的第一测量点对准时基于所述第一标尺位置和所述第二标尺位置获得所述第一测量点的在所述第一方向和所述第二方向上的坐标值，通过所述第二探针测量所述物体的位于另一侧的表面的第二测量点的沿着所述探针轴线的位置，并且基于测量的结果获得所述第二测量点的在所述第一方向和所述第二方向上的坐标值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社三丰 测量装置和测量方法

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