申请/专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司

申请日：2018-10-24

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN111247268B

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;H01L21/67;B33Y10/00;B33Y30/00

优先权：["20171025 EP 17198366.1"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权;2020.06.30#实质审查的生效;2020.06.05#公开

摘要：一种用于吹扫工艺腔室1的方法，该方法至少包括以下步骤：a将最初包含在该工艺腔室1内的气体的温度至少升高到第一温度，b将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室1中，其中，该第一温度高于该第二温度。使用所提供的方法，可以使用比如氮气和或氩气等吹扫气体以特别低的吹扫气体消耗和或使用特别短的吹扫时间来吹扫工艺腔室1。这可以通过在吹扫之前升高最初包含在该工艺腔室1中的气体的温度来实现，因此降低此气体的密度。

主权项：1.一种用于吹扫工艺腔室1的方法，该方法至少包括以下步骤：a将最初包含在该工艺腔室1内的气体的温度至少升高到第一温度，然后b将处于第二温度的吹扫气体引入该工艺腔室1中，其中，该第一温度高于该第二温度，其中，以下参数中的至少一个-步骤b中的吹扫气体的流量，以及-进行步骤b的吹扫时间，取决于以下参数中的至少一个来加以控制：-在该工艺腔室1内测量的温度，以及-在该工艺腔室1内测量的氧气浓度；其中，确定该第一温度，使得如果在步骤b中引入该工艺腔室1中的该吹扫气体的体积是该工艺腔室1的总容积的不到1.5倍大，则在步骤b之后该工艺腔室1内的氧气浓度低于预定最大氧气浓度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 工艺腔室和用于吹扫其的方法

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