申请/专利权人：株式会社神户制钢所

申请日：2019-04-23

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN112041478B

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50;F02F5/00

优先权：["20180427 JP 2018-086197"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权;2020.12.22#实质审查的生效;2020.12.04#公开

摘要：本发明提供一种能够精确地控制形成于工件上的覆膜在周向上的膜厚分布的成膜装置以及成膜方法。所述成膜方法以及装置包含以使形成于工件的被成膜面的覆膜中通过从第一蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分比通过从第二蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分厚的方式，在形成覆膜的期间使施加于第一蒸发源的电能的总量大于施加于第二蒸发源的电能的总量的情况。

主权项：1.一种成膜装置，一边使工件绕规定的公转中心轴线公转一边在所述工件的面向垂直于所述公转中心轴线的方向的侧面形成覆膜，其特征在于包括：至少一个第一蒸发源，具有让作为用于形成所述覆膜的材料的粒子飞出的射出面，该第一蒸发源相对于基准线被对称地配置，当沿着所述公转中心轴线延伸的方向观察时，该基准线通过所述公转中心轴线且垂直于边界线，所述边界线沿着绕所述公转中心轴线公转的所述工件描绘的轨道圆的径向延伸；至少一个第二蒸发源，隔着所述边界线位于所述第一蒸发源的相反侧，并且，相对于所述基准线被对称地配置；第一电源，向所述第一蒸发源施加用于使用于形成所述覆膜的粒子从所述第一蒸发源的射出面飞出的电能；第二电源，向所述第二蒸发源施加用于使用于形成所述覆膜的粒子从所述第二蒸发源的射出面飞出的电能；工件旋转装置，一边以使所述工件保持所述工件的侧面中所述覆膜应与其他区域相比较厚地形成的特定区域面向从所述轨道圆的径向中选择的特定径向的姿势的方式支撑所述工件，一边让所述工件绕所述公转中心轴线公转；以及，控制装置，以使形成于所述工件的覆膜中通过从所述第一蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分即第一覆膜部分比通过从所述第二蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分即第二覆膜部分厚的方式，控制从所述第一电源向所述第一蒸发源施加的电能以及从所述第二电源向所述第二蒸发源施加的电能。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社神户制钢所 成膜装置以及成膜方法

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