申请/专利权人：清华大学

申请日：2021-04-15

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN113517167B

主分类号：H01J37/141

分类号：H01J37/141;H01J37/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权;2021.11.05#实质审查的生效;2021.10.19#公开

摘要：本发明公开了一种电子透镜球差调节装置、电子透镜装置和电子显微镜系统，主要包括：微波腔组，与电子透镜共同设置于电子束的传播方向上；微波功率源，连接于微波腔组，为微波腔组提供能量。本发明利用由微波功率源提供能量的微波腔组对入射电子束进行球差控制，进而在电子束经过微波腔组和电子透镜后，微波腔组对电子束所产生的负球差与电子透镜对电子束所产生的正球差相抵消，从而当电子束通过整个电子透镜装置或整个电子显微镜系统后便能够减小甚至消除由电子透镜所产生的球差，提高了电子显微镜空间分辨率。另外，本发明在电子束路径上的设备器件占用空间更小、重量更轻，有利于电子透镜装置和电子显微镜系统的装配和调节以及降低设备成本。

主权项：1.一种电子透镜球差调节装置，用于修正电子透镜所产生的球差，其特征在于，所述电子透镜球差调节装置包括：微波腔组，所述微波腔组与所述电子透镜共同设置于电子束的传播方向上；微波功率源，所述微波功率源连接于所述微波腔组，为所述微波腔组提供能量；其中，所述微波腔组包括第一微波腔模块和第二微波腔模块，所述第一微波腔模块的微波腔和所述第二微波腔模块的微波腔中形成时变场，所有所述微波腔的形状和大小均相同，所述第二微波腔模块的微波腔工作的微波相位与所述第一微波腔模块的微波腔工作的微波相位相差180度；其中，所述电子束依次通过所述第一微波腔模块和所述第二微波腔模块后进入所述电子透镜；或者，所述电子束通过所述电子透镜后依次通过所述第一微波腔模块和所述第二微波腔模块；或者，所述电子束通过所述第一微波腔模块后进入所述电子透镜，通过所述电子透镜后再通过所述第二微波腔模块；其中，所述电子透镜为静态的圆周对称的电子透镜，所述静态的圆周对称的电子透镜对电子束的球差贡献恒为正值；所述第一微波腔模块的微波腔和所述第二微波腔模块的微波腔中的时变场与所述电子束相互作用产生负球差；其中，所述第一微波腔模块的微波腔带来的电子束平均动能的改变和与纵向位置耦合的电子束能散，由所述第二微波腔模块的微波腔进行抵消。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 电子透镜球差调节装置、电子透镜装置和电子显微镜系统

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