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【发明授权】硅片生产系统_乐山高测新能源科技有限公司_202210387322.0 

申请/专利权人:乐山高测新能源科技有限公司

申请日:2022-04-14

公开(公告)日:2022-09-23

公开(公告)号:CN114559571B

主分类号:B28D5/04

分类号:B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.09.23#授权;2022.06.17#实质审查的生效;2022.05.31#公开

摘要:本申请实施例提供一种硅片生产系统,包括:切片机,用于将硅棒切割成硅片,并将硅片及晶托组件放置工装篮内;运输小车,用于将工装篮运送至脱胶装置;脱胶装置,内部设有用于容纳运输小车的停留空间;所述脱胶装置用于对硅片进行脱胶处理和分片处理;插洗装置,用于将经过分片处理后的硅片进行插片。本申请实施例提供的硅片生产系统能实现对硅片进行自动脱胶、擦胶和分片作业,提高生产效率。

主权项:1.一种硅片生产系统,其特征在于,包括:切片机,用于将硅棒切割成硅片,并将硅片及晶托组件放置工装篮内;运输小车,用于将工装篮运送至脱胶装置;脱胶装置,内部设有用于容纳运输小车的停留空间;所述脱胶装置设有硅片作业线,用于对硅片进行脱胶处理和分片处理;插洗装置,用于将经过分片处理后的硅片进行插片;所述工装篮包括:工装架;侧挡组件,设置于所述工装架的两侧;侧挡组件与工装架围成用于容纳硅片的容纳空间;所述侧挡组件包括:平行的第一支杆和第二支杆;夹板组件,转动设置于所述侧挡组件上;所述夹板组件在初始状态下处于夹紧硅片的第一位置,当受到脱胶装置上的触发板施力时相对于侧挡组件转动至松开硅片的第二位置;位于工装篮两侧的触发板施力以同时松开硅片;所述夹板组件包括:挡板和扭簧;所述扭簧的中部套设于第一支杆,扭簧的底端穿入第二支杆开设的连接孔,扭簧的顶端卡设于挡板的外侧;所述挡板具有中间部及位于中间部顶端的夹紧部和位于中间部底端的触发部;所述中间部设有套环,套设于第一支杆;夹紧部从中间部的顶部向内侧弯折;触发部从中间部的底端向外弯折;所述触发部具有连接段、支撑段和触发段;所述连接段连接至中间部的底端;支撑段沿底架板宽度方向延伸,其一端与连接段相连,另一端与触发段相连;触发段沿底架板长度方向延伸以与触发板配合。

全文数据:

权利要求:

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