申请/专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司

申请日：2022-04-27

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN217485421U

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权

摘要：本实用新型提供了一种晶圆对准臂及晶圆对准装置；所述晶圆对准臂包括升降体和调节件；所述升降体可沿设定的升降方向移动以升高或者降低，所述升降体上设有导斜面；所述调节件设置于所述升降体上并可相对所述升降体运动，所述调节件包括调节部，所述调节件被配置为，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件运动使得所述调节部远离所述导斜面，所述调节件随所述升降体降低时，所述调节件复位使得所述调节部靠近导斜面，以将晶圆边缘推至所述导斜面上。所述晶圆对准装置包含有至少三个晶圆对准臂。本实用新型中通过对准臂可推动晶圆至引导斜面上，保持晶圆的有效对中，利于减少晶圆破掉片和破片现象，降低晶圆的破片率，并且提高了定位精度。

主权项：1.一种晶圆对准臂，其特征在于：包括升降体和调节件；所述升降体可沿设定的升降方向移动以升高或者降低，所述升降体上设有导斜面；所述调节件设置于所述升降体上并可相对所述升降体运动，所述调节件包括调节部，所述调节件被配置为，所述调节件随所述升降体升高时，所述调节件相对所述升降体运动使得所述调节部远离所述导斜面，所述调节件随所述升降体降低时，所述调节件相对所述升降体运动复位使得所述调节部靠近导斜面，以将晶圆边缘推至所述导斜面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 晶圆对准臂及晶圆对准装置

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