申请/专利权人：厦门柯尔自动化设备有限公司

申请日：2022-06-21

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN217485424U

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;B25J11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权

摘要：本实用新型提出了一种晶圆吸附装置，该装置包括机械手本体和设置在机械手本体上的气路换向机构、第一气道、第二气道以及公共气道，其中，气路换向机构的一端与负压接口相连接，另一端与第一气道第二气道相连通，转动气路换向机构使负压接口、第一气道以及公共气道相连通或者使负压接口、第二气道以及公共气道相连通。本申请提供的晶圆吸附装置能够改变气路方向，可以吸附不同尺寸的晶圆蓝膜铁框，无需更换吸附装置、无需重新校点，能够节约生产时间，提高设备的生产效率。

主权项：1.一种晶圆吸附装置，其特征在于，包括机械手本体和设置在机械手本体上的气路换向机构、第一气道以及第二气道，其中，所述气路换向机构的一端与负压接口相连接，另一端与所述第一气道第二气道相连通，转动所述气路换向机构使所述负压接口与所述第一气道连通或者使所述负压接口与所述第二气道连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门柯尔自动化设备有限公司 一种晶圆吸附装置

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