申请/专利权人：桂林电子科技大学

申请日：2022-06-13

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115094378A

主分类号：C23C14/08

分类号：C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.03#授权;2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本发明公开了一种多层复合ITO薄膜，所述多层复合ITO薄膜包括两ITO层和一M层，其中所述M层位于两ITO层之间，M层的In含量为≥In2O3中In含量的含In层，以保障M层与两层ITO层之间相互结合的稳定性而保障所述多层复合ITO薄膜的结构稳定性；所述M层具有8nm～16nm的厚度，M层并与两层ITO层具有200nm～600nm的总厚度，以保障所述多层复合ITO薄膜的透光性的同时降低所述多层复合ITO薄膜的片阻。

主权项：1.一种多层复合ITO薄膜，其特征在于，包括两ITO层和一层M层；所述M层位于两ITO层之间，M层的In含量为≥In2O3中In含量的含In层，以保障M层与两层ITO层之间相互结合的稳定性而保障所述多层复合ITO薄膜的结构稳定性；所述M层具有8nm～16nm的厚度，M层并与两层ITO层具有200nm～600nm的总厚度，以保障所述多层复合ITO薄膜的透光性的同时降低所述多层复合ITO薄膜的片阻。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 桂林电子科技大学 一种多层复合ITO薄膜

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