申请/专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司

申请日：2022-07-25

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN115094394A

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开

摘要：本发明公开了一种旋转阴极，涉及到阴极领域，包括阴极壳体，阴极壳体中设置有阴极槽，阴极槽内设置有旋转阴极，阴极壳体的外侧设置有驱动旋转阴极转动的传动单元，旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，阴极壳体的内部设置有支撑在旋转阴极底部用于减少旋转阴极转动时离心力的稳定机构，为了解决旋转磁控溅射阴极在转动时会产生一定的震动，长时间的震动会导致密封性降低的现象，在旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，限位转动机构可限制旋转阴极转动时不会偏移，降低旋转阴极晃动的现象，从而减少旋转阴极长时间震动或者晃动造成的密封性降低现象。

主权项：1.一种旋转阴极，包括阴极壳体1，其特征在于：所述阴极壳体1中设置有阴极槽2，阴极槽2内设置有旋转阴极3，所述阴极壳体1的外侧设置有驱动旋转阴极3转动的传动单元4，所述旋转阴极3的端部与阴极壳体1之间设置有限位转动机构，所述阴极壳体1的内部设置有支撑在旋转阴极3底部用于减少旋转阴极3转动时离心力的稳定机构6，所述阴极壳体1的底面中部固定设置有推动稳定机构6靠近旋转阴极3的推动单元7，所述推动单元7的两侧均设置有支撑在稳定机构6底部与阴极壳体1底部之间的伸缩组件9，所述稳定机构6中设置有修复旋转阴极3表面凹陷位置的修补机构。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 镇江市德利克真空设备科技有限公司 一种旋转阴极

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