申请/专利权人:深圳市深视智能科技有限公司
申请日:2022-07-27
公开(公告)日:2022-09-23
公开(公告)号:CN115096194A
主分类号:G01B11/02
分类号:G01B11/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.10.14#实质审查的生效;2022.09.23#公开
摘要:本申请提供了一种位移测量探头、测量装置及位移测量方法。位移测量探头包括:光束输出组件,用于输出准直的第一高斯光束;光束转换组件,用于将准直的第一高斯光束转换为第一贝塞尔光束并出射至待测物面;成像组件,成像组件包括成像透镜及线阵图像传感器,成像透镜的光轴与第一贝塞尔光束成第一角度,成像透镜用于对第一贝塞尔光束照射在待测物面所形成的亮斑成像,线阵图像传感器与光轴成第二角度设置,用于接收成像透镜对亮斑所成的亮斑图像,亮斑图像用于计算待测物面相对基准面的位移。本申请提供的位移测量探头能以高横向分辨率对具有精细台阶式轮廓的物面进行高纵向分辨率位移测量的同时,增大测量量程。
主权项:1.一种位移测量探头,其特征在于,所述位移测量探头包括:光束输出组件,所述光束输出组件用于输出准直的第一高斯光束;光束转换组件,所述光束转换组件与所述光束输出组件间隔设置,用于将所述准直的第一高斯光束转换为第一贝塞尔光束并出射至待测物面,所述光束转换组件包括第一凸锥透镜,所述第一凸锥透镜用于将高斯光束转换为贝塞尔光束;以及成像组件,所述成像组件包括成像透镜及线阵图像传感器,所述成像透镜的光轴与所述第一贝塞尔光束成第一角度,所述成像透镜用于对所述第一贝塞尔光束照射在所述待测物面所形成的亮斑成像,所述线阵图像传感器与所述成像透镜间隔设置,且与所述光轴成第二角度设置,用于接收所述成像透镜对所述亮斑所成的亮斑图像,所述亮斑图像用于计算待测物面相对于基准面的位移;其中,所述光轴穿过所述第一贝塞尔光束的无衍射区段的中部位置及所述线阵图像传感器,在所述第一贝塞尔光束与所述光轴确定的平面内,所述成像透镜的径向方向的延长线、所述线阵图像传感器的径向方向的延长线与所述第一贝塞尔光束的延长线交于一点。
全文数据:
权利要求:
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