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【发明公布】具有氟化钇涂层的衬底,以及制备且使用所述衬底的方法_恩特格里斯公司_202210304547.5 

申请/专利权人:恩特格里斯公司

申请日:2022-03-21

公开(公告)日:2022-09-27

公开(公告)号:CN115110060A

主分类号:C23C16/40

分类号:C23C16/40;C23C16/455;C23C16/30

优先权:["20210319 US 63/163,589"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2022.10.18#实质审查的生效;2022.09.27#公开

摘要:本申请涉及具有氟化钇涂层的衬底,以及制备和使用所述衬底的方法。描述衬底,其包含:高纵横比表面和非高纵横比表面、至少两个涂层,一个涂层位于高纵横比表面处且第二涂层位于非高纵横比表面处,且具有氟化外表面;制备这些涂层的方法;以及包含所述涂层的衬底、表面、设备和设备组件。

主权项:1.一种涂布的衬底,其包括:衬底,其包括高纵横比表面和非高纵横比表面,其中所述高纵横比表面为具有至少2比1的纵横比的特征;以及至少两个涂层,其位于所述衬底上,所述涂层包括:第一氧化钇涂层,其覆盖高纵横比表面;以及第二氧化钇涂层,其覆盖非高纵横比表面,其中所述涂层的最外部分包括在高纵横比表面和非高纵横比表面两者处的氟化氧化钇。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 恩特格里斯公司 具有氟化钇涂层的衬底,以及制备且使用所述衬底的方法

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