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【发明授权】检测设备及检测方法_深圳中科飞测科技股份有限公司_202010369780.2 

申请/专利权人:深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日:2020-05-06

公开(公告)日:2022-09-27

公开(公告)号:CN111623723B

主分类号:G01B11/24

分类号:G01B11/24;G01B11/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.09.27#授权;2020.09.29#实质审查的生效;2020.09.04#公开

摘要:本发明提供一种检测设备与检测方法。检测设备包括:第一探测模块,用于收集待测物表面第一子区域反射的第一光束形成第一信号光;第二探测模块,用于收集待测物表面第二子区域反射的第二光束形成第二信号光,所述第一光束的中心轴与所述第二光束的中心轴呈夹角设置;处理模块,用于根据收集的所述第一信号光获取所述待测物表面第一子区域的三维坐标,并根据收集的所述第二信号光获取所述待测物表面第二子区域的三维坐标。本发明解决了无法完全检测出多样化的待测物的形貌的技术问题。

主权项:1.一种检测设备,其特征在于,包括:第一探测模块,用于收集待测物表面第一子区域反射的第一光束形成第一信号光;第二探测模块,用于收集待测物表面第二子区域反射的第二光束形成第二信号光,所述第一光束的中心轴与所述第二光束的中心轴呈夹角设置,所述第一探测模块具有第一角度量程范围,所述第一角度量程范围为所述第一光束的传播方向的角度范围;所述第二探测模块具有第二角度量程范围,所述第二角度量程范围为所述第二光束的传播方向的角度范围,所述第一角度量程范围与所述第二角度量程范围部分重叠,所述第一光束的中心光线沿传播方向与所述第二光束的中心光线沿传播方向汇聚;处理模块,用于根据收集的所述第一信号光获取所述待测物表面第一子区域的三维坐标,所述第一子区域为凹弧形,并根据收集的所述第二信号光获取所述待测物表面第二子区域的三维坐标;所述第一探测模块包括反射镜,所述反射镜用于反射所述第一信号光,所述反射镜改变所述第一光束的传播方向,以改变所述第一探测模块的第一角度量程范围,减小倾斜所述第一探测模块的安装空间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳中科飞测科技股份有限公司 检测设备及检测方法

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