申请/专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司

申请日：2021-12-14

公开（公告）日：2022-09-27

公开（公告）号：CN217507292U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.27#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆容纳盒的承载装置，包括：第一承载平台，所述第一承载平台具有第一台面和设置于所述第一台面两端的支撑部，所述第一台面设置有第一感应单元，所述第一感应单元包括均沿所述第一台面中心线对称设置的第一感应部、第二感应部和第三感应部；第二承载平台，所述第二承载平台具有第二台面和位于所述第二台面两端的连接部，所述连接部能置于所述支撑部上且与所述支撑部螺纹连接，所述第二台面设置有第二感应单元，所述第二感应单元包括颜色传感器均沿所述第二台面中心线对称设置的第四感应部和第五感应部。本实用新型实现了对不同尺寸和材质的晶圆容纳盒均可以兼容的效果，从而使得承载装置的兼容性较高。

主权项：1.一种用于晶圆容纳盒的承载装置，其特征在于，包括：第一承载平台，所述第一承载平台用于承载8寸晶圆容纳盒，所述第一承载平台具有第一台面和设置于所述第一台面两端的支撑部，所述支撑部沿远离所述第一台面的方向延伸，所述第一台面设置有第一感应单元，所述第一感应单元包括均沿所述第一台面中心线对称设置的第一感应部、第二感应部和第三感应部；第二承载平台，所述第二承载平台用于承载6寸晶圆容纳盒，所述第二承载平台具有第二台面和位于所述第二台面两端的连接部，所述连接部能置于所述支撑部上且与所述支撑部螺纹连接，所述第二台面设置有第二感应单元，所述第二感应单元包括颜色传感器均沿所述第二台面中心线对称设置的第四感应部和第五感应部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 用于晶圆容纳盒的承载装置

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