申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日：2022-03-17

公开（公告）日：2022-09-27

公开（公告）号：CN217505694U

主分类号：G01N21/956

分类号：G01N21/956;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.27#授权

摘要：一种检测装置，包括：照明模块，包括沿光路传输方向依次设置的光源组件、第一狭缝元件和第一镜组，所述光源组件用于产生光束，所述第一狭缝元件用于使所述光束透过产生入射光，所述第一镜组对第一狭缝元件进行成像以在待测物表面形成第一狭缝元件的缩小的像，所述入射光经过所述待测物形成探测光。本实用新型有利于获得高稳定性高精度的检测结果。

主权项：1.一种检测装置，其特征在于，用于对待测物进行检测，所述检测装置包括：照明模块，包括沿光路传输方向依次设置的光源组件、第一狭缝元件和第一镜组，所述光源组件用于产生光束，所述第一狭缝元件用于使所述光束透过产生入射光，所述第一镜组对第一狭缝元件进行成像以在待测物表面形成第一狭缝元件的缩小的像，所述入射光经过所述待测物形成探测光；成像模块，用于收集所述探测光，并根据所述探测光获得所述待测物的成像信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 检测装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD