申请/专利权人：复旦大学

申请日：2022-06-19

公开（公告）日：2022-11-04

公开（公告）号：CN217738984U

主分类号：G01N21/25

分类号：G01N21/25;G01N21/41

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.04#授权

摘要：本实用新型属于光学传感器技术领域，具体为一种基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片。本实用新型的传感芯片包括三块平面反射镜以及两个方形石英微管；两块平面反射镜与两个方形石英微管中间形成传感腔；中间平面反射镜与下部平面反射镜形成参考腔；方形石英微管为中空结构，两端开口，可以与微流空系统结合；本实用新型可将传统法布里帕罗谐振腔传感芯片的灵敏度进行20‑40倍的放大，避免了传统法布里帕罗谐振腔传感器对高品质因子的需求，可以实现对于超低微量浓度、超小物理量的化学生物试剂的检测；此法布里帕罗结构耦合腔制作方便，操作简单，整体设计成本较低。

主权项：1.一种基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片，其特征在于，包括三块平面反射镜以及两个方形石英微管；其中，三块平面反射镜为方形，大小一致；三块平面反射镜由石英基底和镀覆在石英基底上的反射膜组成；三块平面反射镜分上、中、下三层平行设置；上部平面反射镜与中间平面反射镜的反射膜向相，两个方形石英微管大小一致，设置于上部平面反射镜与中间平面反射镜之间，且位于两块平面反射镜的边缘处；两块平面反射镜分别与两个方形石英微管的上、下表面粘合，使两块平面反射镜与两个方形石英微管中间形成传感腔；下部平面反射镜的反射膜侧与中间平面反射镜的石英基底粘合，形成参考腔；所述方形石英微管为中空结构，两端具有开口，可以与微流空系统结合；方形石英微管既作为传感腔中两块平面反射镜中间的垫片，又为待测分析物的输送提供微流通道；中间平面反射镜的石英基底作为参考腔中两块平面反射镜中间的垫片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 复旦大学 基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片

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