申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司

申请日：2022-07-28

公开（公告）日：2022-11-15

公开（公告）号：CN217807340U

主分类号：B65G47/90

分类号：B65G47/90;C23C16/458;C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.15#授权

摘要：本实用新型公开了一种搬送机构及真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域。该搬送机构用于搬送基板，该搬送机构包括相对设置的第一搬送组件和第二搬送组件，第一搬送组件和第二搬送组件二者中，至少一个能带动基板移动，以使基板脱离承载件；第一搬送组件和第二搬送组件能够夹持基板的相对两侧，以搬送基板，基板具有测量厚度的基准面，测量厚度的基准面与搬送方向的夹角小于预设角度。该搬送机构占用空间小，提高了搬送效率。应用上述的搬送机构的真空镀膜机，用于将基板从第一腔室搬送至第二腔室，大大减小了搬送通道的宽度，占用空间小，降低了预加热的能耗，同时提高了搬送效率，从而降低了真空镀膜机的能耗，提高了真空镀膜机的镀膜效率。

主权项：1.一种搬送机构，用于搬送基板300，其特征在于，所述搬送机构包括：相对设置的第一搬送组件1和第二搬送组件2，所述第一搬送组件1和所述第二搬送组件2二者中，至少一个能带动所述基板300移动，以使所述基板300脱离承载件；所述第一搬送组件1和所述第二搬送组件2能够夹持所述基板300的相对两侧，以搬送所述基板300，所述基板300具有测量厚度的基准面，所述测量厚度的基准面与搬送方向的夹角小于预设角度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 一种搬送机构及真空镀膜机

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