申请/专利权人：未来儿株式会社

申请日：2015-11-26

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN108292618B

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;B65D85/30;B65D85/86

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.25#授权;2018.10.19#实质审查的生效;2018.07.17#公开

摘要：基板收纳容器的密封部件4包括：基部41，其固定于密封部件安装部303；容器抵接顶端部43，其具有与开口周缘部抵接的主体抵接部431；基部侧变形部42，其连结基部41和容器抵接顶端部43，能够以使容器抵接顶端部43相对于基部41摆动的方式弹性变形；以及突起部44，其位于容器抵接顶端部43的与基部侧变形部42连接的部分，从容器抵接顶端部43的外表面突出。在容器抵接顶端部43的摆动方向上，容器抵接顶端部43的厚度形成得比基部侧变形部42的厚度厚。

主权项：1.一种基板收纳容器，其特征在于，包括：容器主体，其具有筒状的壁部，在所述壁部的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且所述壁部的另一端部封闭，通过所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，其能够相对于所述容器主体开口部拆装，具有密封部件安装部，能够封闭所述容器主体开口部；以及密封部件，其安装于所述盖体的所述密封部件安装部，能够与所述开口周缘部抵接，通过夹在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部紧贴抵接，与所述盖体一起以气密状态封闭所述容器主体开口部，所述密封部件包括：基部，其固定于所述密封部件安装部；容器抵接顶端部，其具有与所述开口周缘部抵接的主体抵接部；基部侧变形部，其连结所述基部与所述容器抵接顶端部，能够以使所述容器抵接顶端部相对于所述基部摆动的方式弹性变形；以及突起部，其没有位于所述基部侧变形部，而位于所述容器抵接顶端部的与所述基部侧变形部连接的部分，并从所述容器抵接顶端部的外表面突出，在所述容器抵接顶端部的摆动方向上，所述容器抵接顶端部及所述基部的厚度形成得比所述基部侧变形部的厚度厚，所述基部侧变形部由所述基部与所述容器抵接顶端部之间的、比所述基部及所述容器抵接顶端部薄的部分构成，所述基部侧变形部的厚度比所述容器抵接顶端部及所述基部的任意部分的厚度都薄，所述突起部始终与具有所述突起部的所述密封部件所安装的所述盖体的内表面抵接。

全文数据：基板收纳容器技术领域[0001]本发明涉及在对由半导体晶圆等构成的基板进行收纳、保管、搬运、运输等时使用的基板收纳容器。背景技术[0002]作为用于收纳由半导体晶圆构成的基板并进行搬运的基板收纳容器，以往已知具有容器主体和盖体的构造。[0003]容器主体的一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状壁部。容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于开口周缘部拆装，且具有密封部件安装部，能够封闭容器主体开口部。密封部件安装在盖体的密封部件安装部，能够与开口周缘部抵接，通过夹在开口周缘部与盖体之间并与开口周缘部紧贴抵接，从而与盖体一起以气密状态封闭容器主体开口部例如参照专利文献1。[0004]在盖体的局部且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分设有前侧保持器frontretainer。前侧保持器能够在利用盖体封闭容器主体开口部时支承多个基板的缘部。另外，将前侧保持器成对设置，并在壁部设置有里侧基板支承部。里侧基板支承部能够支承多个基板的缘部。里侧基板支承部在利用盖体封闭容器主体开口部时与前侧保持器协同动作而支承多个基板，从而以使相邻的基板彼此分离开规定间隔排列的状态保持多个基板。[0005]现有技术文献[0000]专利文献[0007]专利文献1:日本特开2005—256958号公报发明内容[0008]对于基板收纳容器而言，优选在基板收纳容器的容器主体中收纳有基板并利用盖体封闭着容器主体的容器主体开口部时，密封部件处的气体透过量少。例如，将氮等非活性气体或水分除去了（1%以下）的干燥空气（以下称为吹扫气体从容器主体的外部流入基板收纳空间，对基板收纳容器内加压，进行气体吹扫。希望将基板收纳容器内的这种加压状态维持尽可能长的时间，另外，希望尽可能长时间地抑制基板收纳容器内的湿度上升。因此，要求能够更长时间维持加压状态，能够更长时间抑制基板收纳容器内的湿度上升。[0009]本发明的目的在于提供一种能够在基板收纳容器内更长时间维持加压状态且能够抑制基板收纳容器内湿度上升的基板收纳容器。[0010]本发明涉及一种基板收纳容器，其包括:容器主体，其具有筒状的壁部，在壁部的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且壁部的另一端部封闭，通过所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板并与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，其能够相对于所述容器主体开口部拆装，且具有密封部件安装部，能够封闭所述容器主体开口部；以及密封部件，其安装于所述盖体的所述密封部件安装部，能够与所述开口周缘部抵接，该密封部件通过夹在所述开口周缘部与所述盖体之间且与所述开口周缘部紧贴抵接，与所述盖体一起以气密状态封闭所述容器主体开口部，所述密封部件包括:基部，其固定于所述密封部件安装部;容器抵接顶端部，其具有与所述开口周缘部抵接的主体抵接部;基部侧变形部，其连结所述基部和所述容器抵接顶端部，能够以使所述容器抵接顶端部相对于所述基部摆动的方式弹性变形；以及突起部，其位于所述容器抵接顶端部的与所述基部侧变形部连接的部分，且从所述容器抵接顶端部的外表面突出，在所述容器抵接顶端部的摆动方向上，所述容器抵接顶端部的厚度形成得比所述基部侧变形部的厚度厚。[0011]另外，优选构成为，在所述容器抵接顶端部的摆动方向上，所述容器抵接顶端部的厚度至少比所述基部侧变形部的一部分的厚度厚。另外，优选的是，所述容器抵接顶端部在从所述突起部朝向所述主体抵接部的规定部分具有朝向所述主体抵接部所抵接的所述开口周缘部的部分弯曲的弯曲部。另外，优选所述密封部件由氟橡胶构成。[0012]发明效果[0013]根据本发明，能够提供一种能够在基板收纳容器内更长时间维持加压状态并抑制基板收纳容器内湿度上升的基板收纳容器。附图说明[0014]图1是表示在本发明第1实施方式的基板收纳容器1中收纳有基板W的状态的分解立体图。[0015]图2是表示本发明第1实施方式的基板收纳容器1的容器主体开口部21被封闭前的密封部件4、盖体3、和开口周缘部28的放大剖视图。[0016]图3是表示本发明第1实施方式的基板收纳容器1的容器主体开口部21被封闭时的密封部件4、盖体3、和开口周缘部28的放大剖视图。[0017]图4是表示本发明第2实施方式的基板收纳容器1的密封部件4A的放大剖视图。具体实施方式[0018]以下参照附图说明第1实施方式的基板收纳容器1。[0019]图1是表示在本发明第1实施方式的基板收纳容器1中收纳有基板W的状态的分解立体图。图2是表示本发明第1实施方式的基板收纳容器1的容器主体开口部21被封闭前的密封部件4、盖体3、和开口周缘部28的放大剖视图。图3是表示本发明第1实施方式的基板收纳容器1的容器主体开口部21被封闭时的密封部件4、盖体3、和开口周缘部28的放大剖视图。[0020]在此，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向（图1中从右上朝向左下的方向）定义为前方Dll，将其相反方向定义为后方D12,将这两个方向合并定义为前后方向Dl。另外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向（图1中的上方定义为上方D21，将其相反方向定义为下方D22,将这两个方向合并定义为上下方向D2。另外，将从后述的第2侧壁26朝向第1侧壁25的方向（图1中从右下朝向左上的方向）定义为左方D31，将其相反方向定义右方D32,将这两个方向合并定义为左右方向D3。附图中图示出表示上述方向的箭头。[0021]另外，收纳于基板收纳容器1的基板W参照图1是圆盘状的硅晶圆、玻璃晶圆、蓝宝石晶圆等，是工业用的薄型制品。本实施方式中的基板W是直径为300mm的娃晶圆。[0022]如图1所示，基板收纳容器1收纳由上述的硅晶圆构成的基板W，被用作在工厂内的工序中进行搬运的工序内容器，该基板收纳容器1由容器主体2和盖体3构成，容器主体2具有基板支承板状部5和里侧基板支承部未图示），盖体3具有前侧保持器未图示）。[0023]容器主体2具有筒状的壁部20,在该壁部20的一端部形成有容器主体开口部21且该壁部20的另一端部封闭。容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围形成。在壁部20的局部且在形成基板收纳空间27的部分配置有基板支承板状部5。如图1所示，能够在基板收纳空间27中收纳多个基板W。[0024]基板支承板状部5在基板收纳空间27内成对地设置于壁部20。基板支承板状部5在容器主体开口部21没有被盖体3封闭时与多个基板W的缘部抵接，从而能够以将相邻的基板W彼此分离开规定间隔排列的状态支承多个基板W的缘部。在基板支承板状部5的里侧设置有里侧基板支承部未图示）。[0025]里侧基板支承部未图示在基板收纳空间27内以与后述的前侧保持器未图示）成对的方式设置在壁部20。里侧基板支承部未图示在利用盖体3封闭容器主体开口部21时与多个基板W的缘部抵接，从而能够支承多个基板W的缘部的后部。[0026]盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28图1等拆装，能够封闭容器主体开口部21。前侧保持器未图示）设置在盖体3的局部，且设置在利用盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27相对的部分。前侧保持器未图示在基板收纳空间27的内部与里侧基板支承部未图示成对配置。[0027]前侧保持器未图示）能够在利用盖体3封闭容器主体开口部21时与多个基板W的缘部抵接，从而支承多个基板W的缘部的前部。前侧保持器未图示在利用盖体3封闭容器主体开口部21时与里侧基板支承部未图示协同动作而支承多个基板W，以将相邻的基板W彼此分离开规定间隔排列的状态保持多个基板W。[0028]基板收纳容器1由塑料材质等树脂构成，在没有特别说明的情况下，作为该树脂材料例如能够举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二酯、聚醚醚酮、液晶聚合物这样的热塑性树脂及这些材料的合金等。在对上述成形材料的树脂赋予导电性的情况下，能够选择添加碳纤维、碳粉、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。另夕卜，为了提高刚性还能够添加玻璃纤维、碳纤维等。[0029]以下对各部分进行详细说明。[0030]如图1所示，容器主体2的壁部20具有里侧壁22、上壁23、下壁24、第1侧壁25和第2侧壁26。里侧壁22、上壁23、下壁24、第1侧壁25、及第2侧壁26由上述的材料构成且一体成形。[0031]第1侧壁25与第2侧壁26相对，上壁23与下壁24相对。上壁23的后端、下壁24的后端、第1侧壁25的后端、及第2侧壁26的后端全部与里侧壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1侧壁25的前端、及第2侧壁26的前端具有与里侧壁22相对的位置关系，构成开口周缘部28，该开口周缘部28形成呈大致长方形状的容器主体开口部21。[0032]开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，里侧壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱状。壁部20的内表面，S卩，里侧壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第1侧壁25的内表面、及第2侧壁26的内表面形成由这些部位包围而成的基板收纳空间27。形成于开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围且形成在容器主体2内部的基板收纳空间27连通。基板收纳空间27最多能收纳25片基板I[0033]如图1所示，在上壁23及下壁24各自的局部且在开口周缘部28附近的局部形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的锁止卡合凹部4^、408、41六、418。锁止卡合凹部40八、40B、41A、41B在上壁23及下壁24的左右两端部附近分别形成一个共计四个。[0034]如图1所示，在上壁23的外表面与上壁23—体成形而设置有肋条235。肋条235能够提尚容器主体2的刚性。[0035]另外，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是在AMHS自动晶圆搬运系统）、PGV晶圆基板搬运台车等中悬挂基板收纳容器1时成为基板收纳容器1上被钩住并悬挂部分的部件。[0036]在下壁24的四个角部作为气体通路形成有供气孔未图示）和排气孔46这两种通孔。在本实施方式中，位于下壁24的前方Dll的端部的两个部位、即下壁24上靠近容器主体开口部21的部分的两处通孔，是用于排出容器主体2内部的气体的排气孔46,在后方D12的端部的两个部位、即下壁24上靠近里侧壁22的部分的两处通孔是用于向容器内部供给气体的供气孔未图示）。在供气孔未图示和排气孔46这两种通孔中分别配置有供气用过滤器部未图示和排气用过滤器部81。[0037]供气用过滤器部未图示及排气用过滤器部81的内部的气体流路，构成连通基板收纳空间27与容器主体2的外部空间的气体通路的一部分。另外，供气用过滤器部未图示）和排气用过滤器部81配置在具有下壁24的壁部20,在供气用过滤器部未图示和排气用过滤器部81处，气体能够经由过滤器未图示在容器主体2的外部空间与基板收纳空间27之间通过。供气用过滤器部未图示能够使氮等非活性气体或除去了水分（1%以下）的干燥空气（以下称为吹扫气体）以每分钟20L升）以上从容器主体2的外部空间通向基板收纳空间27。同样地，排气用过滤器部81能够使空气或吹扫气体从基板收纳空间27通向容器主体2的外部空间。[0038]盖体3如图1等所示具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28拆装，通过将盖体3装配到开口周缘部28，盖体3能够封闭容器主体开口部21。在盖体3的内表面301图1中示出的盖体3的背面侧的面。参照图2等），且在盖体3封闭容器主体开口部21时与形成在开口周缘部28的正后方D12位置处的层差这一部分的表面密封面281相对的面上，形成有在盖体3的内表面301上将盖体3周边环绕一周的环状槽304参照图2等），盖体3的形成环状槽304的部分构成密封部件安装部303。在密封部件安装部303上安装有环状的密封部件4。优选密封部件4由能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制、硅橡胶制等构成，在本实施方式中，密封部件4是氟橡胶制。密封部件4以环绕盖体3的外周缘部一周的方式配置。[0039]在盖体3装配于开口周缘部28时，密封部件4能够与开口周缘部28抵接，能够紧贴抵接于开口周缘部28,被密封面281和盖体3的内表面301夹持而弹性变形，盖体3与密封部件4一起以密闭容器主体开口部21的状态气密状态封闭该容器主体开口部21。通过将盖体3从开口周缘部28拆下，能够将基板W相对于容器主体2内的基板收纳空间27放入、取出。[0040]密封部件4具有基部41、基部侧变形部42、容器抵接顶端部43、和突起部44。基部41、基部侧变形部42、容器抵接顶端部43、及突起部44由氟橡胶一体成形而构成。基部41如图2所示，与盖体3的周向正交的截面具有大致长方形状，后方D12的端部具有薄壁部，该薄壁部呈沿从盖体3的中心朝向周缘302的方向（图2中的左方切缺而成的形状，使基部41在左右方向D3上的厚度构成得较薄。基部41的与薄壁部相比位于上侧的部分嵌入固定在密封部件安装部303的环状槽304中。[0041]基部侧变形部42如图2所示，在与盖体3的周向正交的截面上，沿盖体3的内表面301在从盖体3的中心朝向周缘302的方向上从基部41的下端部延伸。基部侧变形部42的延伸端部与容器抵接顶端部43连接。即，基部侧变形部42将基部41与容器抵接顶端部43连结并弹性变形，从而如图2、图3所示，在与盖体3的周向正交的截面上能够使容器抵接顶端部43以突起部44的顶端部为支点相对于基部41摆动。[0042]如图2等所示，容器抵接顶端部43在与基部侧变形部42的延伸方向正交的方向及在与盖体3的内表面301正交的方向、即后述的容器抵接顶端部43的摆动方向上的厚度a，形成为比基部侧变形部42在该方向上的厚度b厚。具体来说，基部侧变形部42在该方向上的厚度b为0.8mm，而容器抵接顶端部43在该方向上的厚度a为0.95mm。基部侧变形部42的这一厚度b在从与基部41连接的基部侧变形部42的基端部到与容器抵接顶端部43连接的顶端侧端部的范围内恒定。另外，容器抵接顶端部43的这一厚度a在从与基部侧变形部42连接的容器抵接顶端部43的基端部到容器抵接顶端部43的自由端部即顶端部的范围内恒定。因此，与开口周缘部28抵接的容器抵接顶端部43的主体抵接部431在容器抵接顶端部43的摆动方向上的厚度a形成得比基部侧变形部42b在该方向上的厚度厚。[0043]容器抵接顶端部43从与基部侧变形部42连接且存在突起部44的基端部侧沿着盖体3的内表面301从盖体3的中心朝向周缘302的方向延伸至规定位置，并在该位置处弯折而弯曲，朝向开口周缘部28的方向更具体而言从盖体3的中心朝向周缘302的方向且朝向斜后方向D12呈直线状延伸。该弯曲部分构成弯曲部432,容器抵接顶端部43的延伸端部如图3所示构成与开口周缘部28抵接的主体抵接部431。[0044]突起部44位于容器抵接顶端部43的与基部侧变形部42连接的部分。突起部44从容器抵接顶端部43的与盖体3的内表面301相对的外表面朝向盖体3的内表面301即朝向前方Dll突出。从容器抵接顶端部43的外表面突起的突起部44在其突出方向上的高度为0.6mm。突起部44在与其突出方向正交的方向上的厚度为0.6mm。突起部44的顶端部具有半球形状，顶端部的半径为〇.3mm。[0045]在盖体3上设有锁止机构。锁止机构设置在盖体3的左右两端部附近，如图1所示，具有能够从盖体3的上边朝向上方D21突出的两个上侧锁止部32A、32B和能够从盖体3的下边朝向下方D22突出的两个下侧锁止部（未图示）。两个上侧锁止部32A、32B配置在盖体3上边的左右两端附近，两个下侧锁止部配置在盖体3下边的左右两端附近。[0046]在盖体3的外表面上设有操作部33。通过从盖体3的前侧操作操作部33,能够使上侧锁止部32A、32B、下侧锁止部（未图示从盖体3的上边、下边突出，也能够设为不从上边、下边突出的状态。上侧锁止部32A、32B从盖体3的上边朝向上方D21突出，与容器主体2的锁止卡合凹部40A、40B卡合，并且下侧锁止部未图示从盖体3的下边朝向下方D22突出，与容器主体2的锁止卡合凹部41A、41B卡合，从而盖体3被固定于容器主体2的开口周缘部28。[0047]在盖体3的内侧（图1中示出的盖体3的与外表面相对的相反侧形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的凹部未图示）。在凹部未图示）及盖体3的位于凹部外侧的部分固定设有前侧保持器未图示）。[0048]前侧保持器未图示具有前侧保持器基板接收部未图示）。前侧保持器基板接收部未图示在左右方向D3上分离开规定间隔地成对各配置有两个。像这样以成对的方式各配置有两个的前侧保持器基板接收部以在上下方向D2上排列有25对的状态设置。通过在基板收纳空间27内收纳基板W并使盖体3闭合，从而前侧保持器基板接收部对基板W的缘部的端缘进行挟持支承。[0049]接下来说明由盖体3及密封部件4对容器主体开口部21的封闭。[0050]首先，使盖体3的内表面301与基板收纳空间27相对，使得成为在前后方向Dl上观察时盖体3与容器主体开口部21—致的位置关系。接下来，如图2所示，使盖体3朝向后方D12移动而与容器主体开口部21接近，使密封部件4的容器抵接顶端部43的主体抵接部431与开口周缘部28抵接。[0051]接下来，通过使盖体3朝向后方D12移动，从而将容器抵接顶端部43的主体抵接部431按压于开口周缘部28。此时，如前所述，容器抵接顶端部43形成得比基部侧变形部42厚，因此不易弹性变形，而基部侧变形部42进行弹性变形。利用该弹性变形，容器抵接顶端部43如图2、图3所示，以突起部44为支点（中心在大致前后方向Dl摆动方向）上摆动。在该状态下，利用盖体3封闭容器主体开口部21。[0052]在如上所述利用盖体3封闭了容器主体开口部21时，阻断基板收纳空间27与基板收纳容器1的外部之间的连通的密封部件4的厚度为沿图3中的箭头A的容器抵接顶端部43的厚度，或者是沿图3中的箭头B的突起部44的厚度与基部侧变形部42的厚度之和。[0053]根据上述构造的实施方式的基板收纳容器1能够获得以下效果。[0054]如上所述，基板收纳容器1包括:容器主体2，其具有筒状的壁部20，在该壁部20的一端部具有形成有容器主体开口部21的开口周缘部28且该壁部20的另一端部封闭，由壁部20的内表面形成能够收纳多个基板W且与容器主体开口部21连通的基板收纳空间27;盖体3，其能够相对于容器主体开口部21拆装，且具有密封部件安装部303，能够封闭容器主体开口部21;以及密封部件4,其安装于盖体3的密封部件安装部303,能够与开口周缘部28抵接，通过夹设开口周缘部28和盖体3之间并与开口周缘部28紧贴抵接，而与盖体3—起以气密状态封闭容器主体开口部21。[0055]密封部件4包括:基部41，其固定于密封部件安装部303;容器抵接顶端部43，其具有与开口周缘部28抵接的主体抵接部431;基部侧变形部42,其连结基部41与容器抵接顶端部43，且能够以使容器抵接顶端部43相对于基部41摆动的方式弹性变形；以及突起部44，其位于容器抵接顶端部43的与基部侧变形部42连接的部分，且从容器抵接顶端部43的外表面突出。在容器抵接顶端部43的摆动方向上，容器抵接顶端部43的厚度形成得比基部侧变形部42的厚度厚。[0056]根据上述构造，能够使密封部件4的容器抵接顶端部43难以变形，并且能够使基部侧变形部42容易变形，能够减小密封部件4的弹性力。其结果，能够增大密封部件4与开口周缘部28的抵接接触面压力），并且能够将利用盖体3封闭容器主体开口部21时所需的力抑制在规定范围内，能够使密封部件4与开口周缘部28的抵接接触面压力在规定范围内。[0057]此外，能够充分确保在利用盖体3封闭着容器主体开口部21时阻断基板收纳空间27与基板收纳容器1的外部之间的连通的密封部件4的容器抵接顶端部43的厚度。并且，由于基部侧变形部42形成得比容器抵接顶端部43薄，因此能够使被确保了足够厚度的容器抵接顶端部43相对于基部41摆动。[0058]其结果，能够减少在基板收纳容器1的容器主体2内收纳基板W并利用盖体3封闭容器主体2的容器主体开口部21时的密封部件4的气体透过量。由此，能够长时间维持基板收纳容器1内被加压并进行气体吹扫时的基板收纳容器1内的加压状态，能够长时间抑制基板收纳容器1内的湿度上升。[0059]另外，在容器抵接顶端部43的摆动方向上，容器抵接顶端部43的厚度形成为至少比基部侧变形部42的局部厚度厚。根据该构造，能够可靠地在基部侧变形部42处弹性变形，因此能够使容器抵接顶端部43相对于基部41摆动，能够实现使容器抵接顶端部43的主体抵接部431与开口周缘部28可靠抵接的状态。[0060]另外，容器抵接顶端部43在从突起部44朝向主体抵接部431的规定部分具有朝向主体抵接部431所抵接的开口周缘部28的部分弯曲的弯曲部432。根据该构造，能够形成在与基部侧变形部42相比不易变形的容器抵接顶端部43的部分具有弯曲部432的构造，能够形成使容器抵接顶端部43的主体抵接部431容易与开口周缘部28抵接的构造。[0061]另外，密封部件4由氟橡胶构成。根据该构造，能够抑制水分在密封部件4处的透过量。[0062]接下来参照图4对本发明第2实施方式的基板收纳容器进行说明。图4是表示本发明第2实施方式的基板收纳容器的密封部件4A的放大剖视图。[0063]在第2实施方式的基板收纳容器中，密封部件4A的构造与第1实施方式的基板收纳容器1中的密封部件4的构造不同。其他构造与第1实施方式的基板收纳容器1的构造相同，因此对于与第1实施方式的各构造相同的构造标记相同的附图标记并省略说明。[0064]容器抵接顶端部43A具有能够与开口周缘部28参照图3等）抵接的主体抵接部431A。容器抵接顶端部43A的与主体抵接部431A相比靠顶端部的部分，朝向从主体抵接部431A所抵接的开口周缘部28的表面远离的方向弯曲，容器抵接顶端部43A的顶端433A指向基部41的方向，容器抵接顶端部43A的顶端部分432A在与盖体3的周向正交的截面上具有半圆形状。根据该构造也能够获得与第1实施方式的密封部件4相同的效果。[0065]接下来，进行了测试本实施方式的效果的试验。在试验中，本发明制品为第1实施方式的基板收纳容器1。另外，对比制品1为具有形状与以往的专利文献1的实施方式的密封部件的形状相同且由氟橡胶构成的密封部件的基板收纳容器。另外，对比制品2为具有形状与以往的专利文献1的实施方式的密封部件4的形状相同且由聚酯弹性体PEE构成的密封部件的基板收纳容器。在试验中，成为利用盖体3封闭容器主体开口部21的状态，并经由供气用过滤器部未图示）以IOL升min〜30Lmin左右范围内的规定量注入规定时间的非活性的N2气体，在使相对湿度为0%之后停止注入N2气体。然后，求出停止N2气体注入起经过四个小时后的相对湿度的值。试验结果如下表1所示。[0066]【表1】[0067][0068]根据表1可知，对于本发明制品而言，可知相对湿度的值较低，密封部件4处的气体透过量水分透过量较低。与此相对，可知即使构成密封部件的材质与本发明制品相同，密封部件的形状不同的对比制品1的相对湿度的值也为本发明制品的值的2倍以上的较高值，密封部件处的气体透过量水分透过量较高。此外，即使形状与对比制品1相同，构成密封部件的材质不同的对比制品2的相对湿度的值也为比对比制品1的值高30%以上的高值，另夕卜，为本发明制品的值的2.7倍以上的高值。根据以上内容可知，对于具有相同形状的密封部件而言，与由聚酯弹性体PEE构成的密封部件相比，由氟橡胶构成的密封部件的气体透过量水分透过量较低。并且，可知具有第1实施方式的形状的密封部件4的气体透过量水分透过量非常低。[0069]本发明并不限定于上述实施方式，能够在权利要求书记载的技术范围内进行变形。[0070]例如，基部侧变形部42的厚度在从与基部41连接的基部侧变形部42的基端部到与容器抵接顶端部43连接的顶端侧的端部的范围内恒定，但不限定于此。在容器抵接顶端部的摆动方向上，容器抵接顶端部的厚度也可以至少比基部侧变形部的一部分的厚度厚。因此，例如，基部侧变形部也可以在与盖体的周向正交的截面上具有局部较厚的部分或局部较薄的部分。[0071]另外，构成密封部件的基部、容器抵接顶端部、基部侧变形部及突起部等构造不限定于本实施方式的构成密封部件4、4A的基部41、容器抵接顶端部43、43A、基部侧变形部42及突起部44等构造。[0072]另外，容器主体及盖体的形状、能够收纳于容器主体中的基板W的片数和尺寸，不限定于本实施方式中的容器主体2及盖体3的形状、能够收纳于容器主体2中的基板W的片数和尺寸。另外，基板收纳容器1是收纳基板W并在工厂内的工序中进行搬运的工序内容器，但不限定于此。例如，基板收纳容器也可以是收纳基板W并通过陆运手段、空运手段、海运手段等运输手段运输基板W的出厂容器。[0073]附图标记的说明[0074]1基板收纳容器[0075]2容器主体[0076]3盖体[0077]4、4A密封部件[0078]7槽部材抵接部）[0079]20壁部[0080]21容器主体开口部[0081]27基板收纳空间[0082]28开口周缘部[0083]41基部[0084]42基部侧变形部[0085]43、43A容器抵接顶端部[0086]44突起部[0087]303密封部件安装部[0088]431、43IA主体抵接部[0089]432弯曲部[0090]W基板[0091]a容器抵接顶端部的厚度[0092]B基部侧变形部的厚度

权利要求：1.一种基板收纳容器，其特征在于，包括：容器主体，其具有筒状的壁部，在所述壁部的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部，且所述壁部的另一端部封闭，通过所述壁部的内表面形成能够收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，其能够相对于所述容器主体开口部拆装，具有密封部件安装部，能够封闭所述容器主体开口部；以及密封部件，其安装于所述盖体的所述密封部件安装部，能够与所述开口周缘部抵接，通过夹在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部紧贴抵接，与所述盖体一起以气密状态封闭所述容器主体开口部，所述密封部件包括：基部，其固定于所述密封部件安装部；容器抵接顶端部，其具有与所述开口周缘部抵接的主体抵接部；基部侧变形部，其连结所述基部与所述容器抵接顶端部，能够以使所述容器抵接顶端部相对于所述基部摆动的方式弹性变形；以及突起部，其位于所述容器抵接顶端部的与所述基部侧变形部连接的部分，并从所述容器抵接顶端部的外表面突出，在所述容器抵接顶端部的摆动方向上，所述容器抵接顶端部的厚度形成得比所述基部侧变形部的厚度厚。2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，在所述容器抵接顶端部的摆动方向上，所述容器抵接顶端部的厚度形成得至少比所述基部侧变形部的一部分的厚度厚。3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述容器抵接顶端部在从所述突起部朝向所述主体抵接部的规定部分具有朝向所述主体抵接部所抵接的所述开口周缘部的部分弯曲的弯曲部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，所述密封部件由氟橡胶构成。

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