申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2020-01-07

公开（公告）日：2022-11-25

公开（公告）号：CN111192812B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.25#授权;2020.06.16#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明公开了一种电感耦合装置和半导体处理设备。所述电感耦合装置包括射频电源、介质筒以及环绕在所述介质筒的周向侧壁且沿其轴向依次并列设置的至少两组射频线圈及直流电源，每组所述射频线圈的输入端均与所述射频电源和所述直流电源的第一极电连接，每组所述射频线圈的输出端均与所述直流电源的第二极电连接并接地设置，以在介质筒内形成对应每组所述射频线圈的电离区。借助所设计的多组射频线圈的结构，在同样射频功率条件下，通过每组射频线圈的电流降低，从而有效减小了高功率密度导致的趋肤效应问题，并且，工艺气体可以依次经过两个电离区，实现多次电离，可以有效提高感应耦合功率利用效率，最终可以提高等离子体密度。

主权项：1.一种电感耦合装置，用于半导体处理设备中电离工艺气体形成等离子体，所述电感耦合装置包括射频电源以及介质筒，其特征在于，所述电感耦合装置还包括环绕在所述介质筒的周向侧壁且沿其轴向依次并列设置的至少两组射频线圈以及直流电源；其中，每组所述射频线圈的输入端均与所述射频电源和所述直流电源的第一极电连接，每组所述射频线圈的输出端均与所述直流电源的第二极电连接并接地设置，以在所述介质筒内形成对应每组所述射频线圈的电离区；所述电感耦合装置还包括第一滤波器和第二滤波器，其中，各所述射频线圈的输入端经由所述第一滤波器与所述直流电源的第一极电连接，各所述射频线圈的输出端经由所述第二滤波器与所述直流电源的第二极电连接；所述电感耦合装置还包括接地电容；其中，所述接地电容的第一端分别与各所述射频线圈的输出端以及所述第二滤波器电连接，所述接地电容的第二端接地，以平衡所述射频线圈输入端和输出端的电压；每组所述射频线圈包括多匝射频线圈，每匝所述射频线圈均包括第一导电层，包裹所述第一导电层的绝缘层，以及包裹所述绝缘层的第二导电层；每个所述射频线圈的输入端均包括直流输入部和射频输入部，每个所述射频线圈的输出端均包括直流输出部和射频输出部；其中，每个所述直流输入部分别与所述第一导电层和所述直流电源的第一极电连接，每个所述直流输出部分别与所述第一导电层和所述直流电源的第二极电连接；每个所述射频输入部分别与所述第二导电层和所述射频电源电连接，每个所述射频输出部均接地。

全文数据：

权利要求：

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