申请/专利权人:大日本印刷株式会社
申请日:2022-06-15
公开(公告)日:2022-11-25
公开(公告)号:CN217895725U
主分类号:C23C14/04
分类号:C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56;B23P15/00
优先权:["20210616 JP 2021-100342","20220602 JP 2022-090445"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.11.25#授权
摘要:本实用新型提供掩模装置的制造装置和掩模装置。掩模装置可以具备:框架,其包含隔着开口在第1方向上对置的第1边和第2边、以及隔着开口在与第1方向交叉的第2方向上对置的第3边和第4边;和掩模,其包含固定于第1边和第2边的端部。制造装置可以具备:按压机构,其在朝向开口的方向上按压第1边和第2边;位移测量机构,其对第1边和第2边在第1方向上的变形量进行测量;以及固定装置,其将掩模固定于第1边和第2边。按压机构可以包含:按压第1边的5个以上的按压装置,它们沿着第2方向隔开500mm以下的间隔排列;和按压第2边的5个以上的按压装置,它们沿着第2方向隔开500mm以下的间隔排列。
主权项:1.一种掩模装置的制造装置,其特征在于,所述掩模装置具备:框架,其包含隔着开口在第1方向上对置的第1边和第2边、以及隔着所述开口在与所述第1方向交叉的第2方向上对置的第3边和第4边;和掩模,其包含固定于第1边和第2边的端部,所述制造装置具备:按压机构,其在朝向所述开口的方向上按压所述第1边和所述第2边;位移测量机构,其对所述第1边和所述第2边在所述第1方向上的变形量进行测量;以及固定装置,其将所述掩模固定于所述第1边和所述第2边,所述按压机构包含:按压所述第1边的5个以上的按压装置,它们沿着所述第2方向隔开500mm以下的间隔排列;和按压所述第2边的5个以上的按压装置,它们沿着所述第2方向隔开500mm以下的间隔排列。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 大日本印刷株式会社 掩模装置的制造装置和掩模装置
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